资源描述
PTH线操作手册
目 录
一、 目的范围
二、 工艺流程
三、 PTH设备规格表
四、 PTH程序图及各缸时间范围
五、 操作程序
5.1开缸程序
5.2工艺控制
5.3生产操作和维护
5.4 PTH线停产解决方法
5.5 PTH线生产异常解决方法
5.6沉铜效果检测
六、PTH线常见问题及解决方法
七、背光级数图
八、附录
1、PTH线操作控制表
2、PTH线设备检测一览表
一、 目的规范
规范PTH线流程,提供PTH线工艺控制参数和操作方法,指导生产人员正常生产,以保证生产产品品质,合用于PTH手动或自动线操作。
二、 工艺流程
三、 PTH线设备规格表
备注:
SS:不锈钢 QTZ:石英 P.P:聚丙烯 T:气缸振荡
M:机械摇摆 A:打气 V:电振荡器 TF:铁氟龙
C:冷却
四、 PTH自动线程序图及各缸时间范围
注:滴水时间栏空白无规定 各厂根据实际情况可作适当调整
五、 操作程序
5.1开缸程序
5.1.1前期准备
A、清洗缸体:新线开缸前须用3-5% NaOH溶液泡缸12小时,用清水清洗干净后,再用3-5% H2SO4泡缸12小时,再用清水冲洗,至少2次,药水槽再用纯水清洗一次备用。旧线视缸体清洁度,可考虑不用酸碱泡,但缸体须用清水洗净,药水缸须用纯水清洗;
B、测量:测量缸内壁长、宽、高,计算出缸体积,计算方法:
V 体= 长×宽×高(药水液位高度);
C、检查生产辅料(比如,H2SO4是否浑浊等)。
5.1.2开缸
5.1.2.1整孔除油缸:
A、加入DI水至2/3体积;
B、加入整孔剂DS-122(10%);
C、补充DI水至液位;
D、打开加热,启动过滤机
5.1.2.2微蚀缸:
A、加入水至2/3体积,启动打气;
B、加入硫酸4%(或硫酸8%,适合硫酸双氧水系列产品);
C、冷却后加入过硫酸钠80g/L;
D、加水至液位,搅拌。
5.1.2.3酸浸缸:
A、加入DI水至2/3体积;
B、加入2%(V/V)H2SO4;
C、加入DI水至液位,搅拌均匀。
5.1.2.4预浸缸:
A、加入DI水至2/3体积;
B、加入预浸剂DS-133 220g/L(或DS-133 220g/L,AR盐酸5%,适合DS-133体系);
C、加入DI水至液位,搅溶后启动过滤泵。
5.1.2.5活化缸:
A、加入DI水至2/3体积;
B、加入预浸盐DS-133 220g/L,AR盐酸5%。
C、加入DI水至液位,搅溶后启动过滤泵;
D、加入活化剂DS-140 2%;
E、打开加热器循环。
5.1.2.6加速缸:
A、加入DI水至2/3体积;
B、加DS-155 10%;
C、加入DI水至液位;
D、打开过滤泵。
5.1.2.7沉铜缸:
A、加入DI水至2/3体积;
B、启动打气,加入沉铜液DS-166M 5%;
C、缓慢加入DS-166A 7%;
D、缓慢加入DS-166B 7%;
E、补充DI水至液位,启动过滤。
5.2工艺控制
5.2.1整孔除油
A、工艺参数
a、温度 60-70℃
b、时间 5-8min
c、过滤 连续过滤
d、摇摆 连续
B、控制
a、碱度控制在0.09-0.15N;
b、每生产100m2板补加1-1.5L DS-122;
c、每班分析一次,依化验结果调整维护。
C、更换
a、每升工作液解决30-35m2板或铜含量大于1g/L时换缸;
b、每次所有排净旧液,洗净缸体后,重新开缸。
5.2.2微蚀
A、工艺参数
a、温度 25-35℃
b、时间 1-2min
c、浓度 Na2S2O8 60-100g/L H2SO4 3-5%
d、过滤 连续过滤
f、打气 过硫酸钠体系开打气,双氧水体系无须打气。
B、控制
a、每生产100m2添加Na2S2O8 5KG,硫酸2L;
b、每班分析一次,微蚀速率控制在0.6-1.0um/mm;
C、更换
a、铜含量大于25g/L时更换;
b、更换时保管1/6左右旧槽液,再加入1/2体积纯水,然后加入4%硫酸及80g/L Na2S2O8,用纯水补充至液位。
5.2.3酸浸缸
A、工艺参数
a、温度 室温(20-30℃)
b、时间 1-3min
c、摇摆 连续
B、控制
a、H2SO4浓度控制在1-3%;
b、每班分析一次,按分析结果补加。
C、更换
与微蚀缸同时更换。
5.2.4预浸
A、工艺参数
a、温度 室温(18-30℃)
b、时间 0.5-2min
c、过滤 连续过滤
d、摇摆 连续。
B、控制
a、比重控制在1.116-1.142SG,每添加165g/L DS-133可升高比重0.01SG(或补加165g/L DS-133可升高比重0.01SG,8.3ml/L盐酸可提高酸度0.1N,此适合DS-133体系);
b、每生产100m2板补加2.5KG DS-133、0.5L盐酸。
C、更换
a、每升槽液生产30m2时更换;
b、或溶液转变成蓝色或绿色时更换。
5.2.5活化
A、工艺参数
a、温度 35-44℃
b、时间 5-8min
c、搅拌 摇摆或过滤循环
d、加热器 石英或铁氟龙
e、过滤 定期过滤
B、控制
a、每生产100m2补加DS-140 0.6L;
b、比重控制在1.116-1.142SG,比色控制在60-90%。
C、更换
a、每升槽液生产600m2时换缸;
b、铁含量高于150ppm时更换;
c、换时排除所有旧液,再用稀盐酸泡洗槽壁,以清水洗净后用纯水清洗,重新开缸。
5.2.6加速
A、工艺参数
a、温度 酸性室温(20-30℃)
b、时间 2-4min
c、搅拌 摇摆或过滤循环
d、过滤 连续过滤
B、控制
a、酸性控制到0.2-0.4N;
b、每生产1000ft相对补加DS-155 1.5L。
C、更换
a、每升槽液生产20-30m2时更换;
b、当溶液变混浊时;
c、更换时所有排除旧液,洗净槽液重新更换。
5.2.7化学铜
A、工艺参数
a、温度 25-30℃
b、时间 12-18min
c、沉积速率 1.6-25微英寸/分钟
d、过滤 连续过滤
e、搅拌 空气及机械搅拌
f、操作容量(负载) 0.15-0.25ft2/L
B、控制
a、浓度控制
Cu2+ 1.5-2.5g/L
NaOH 11-13g/L
HCHO 6-8g/L
b、浓度控制在正常范围之内
补加量计算方法:
1.每生产6-8m2板添加DS-166A、B各1L;
2.每星期更换一次过滤棉芯,更换时用稀硫酸浸洗新滤芯,用DI水洗净,放入滤槽中使用;
3.每周倒一次槽,并将槽内壁沉积铜消除,方法:抽入废微蚀液或加入一定量H2SO4、Na2S2O8并加水至液位并启动打气;
4.每班分析3次,即4小时分析一次。
C、更换
a、每升槽液生产30-40m2或药水添加量达50MTO时换缸;
b、更换时将槽液所有排放,消除缸内壁沉积铜,洗净后重新配。
5.3生产控制与维护
5.3.1新开缸药水须化验分析,保证浓度正常范围,检查各药水缸温度应达成正常范围;
5.3.2 取三架裸基材板依沉铜线正常程序拖缸。每架双面累积应达沉铜缸最佳负载,即0.2ft2/L;
5.3.3 紧接拖缸板后做一架生产板,抽取生产板背光,规定:双面板8.5级以上,多层板8.0级以上(详见背光等级表)。正常后批量生产,并连续生产,并连续跟进至少3缸板。
5.3.4 生产过程中须做好生产记录,药水补加尽也许少量多次,以保持各药水缸浓度平衡,前解决各缸药水每生产100 m2补加一次,化铜缸视生产板而定,每架板至少6 m2时,累积6m2补加166A、B液各1L,每架大于6m2时,生产一架添加一次。添加量计算:添加量(L)=累积生产面积m2/6m2;
5.3.5 每次开拉前须检查设备运营状况,待温度升到正常管控规定,化验分析调整各药水缸浓度后,拖缸做板,环节同5.3.2、5.3.3;
5.3.6 无化验室的厂家,每次开拉前,沉铜缸须补加DS-166A、B各15ml/L,停产12小时以上,还须补加至少5ml/L甲醛(37%)。
5.4 PTH线停产解决方法:
5.4.1 停产前沉铜少添加一次药水;
5.4.2 关掉所有药水缸中的加热器;
5.4.3 关掉水洗缸的入水阀及打气阀;
5.4.4 保持沉铜缸有打气及过滤;
5.4.5 保持活化缸有循环;
5.4.6 长时间停产或放假,须将药水缸盖好,特别是活化槽。
5.5 PTH线停电及机械故障解决方法:
5.5.1 当遇停电或机械故障时把正浸在药水槽中的板取出水洗待重做;
5.5.2 当遇停电机械故障不超过10分钟,浸在水洗缸中的板可正常往后生产如若不然须取出重做;
5.5.3 在沉铜缸内板可继续沉铜至足够时间,然后取出至板电;
5.5.4 停电时间超过4小时,须用纯水酸制,用AR级硫酸中和沉铜缸中的NaOH,用量约为7ml/L(AR级硫酸);
5.5.5 返工板程序:
微蚀→水洗→磨板→PTH工序
5.6 沉铜效果检测:
5.6.1 背光检测:每生产四小时检测一次,具体见背光对照表;
5.6.2 孔铜附着力检测:沉铜板做到成品后,进行热冲击实验,孔铜不脱离为OK。
六、 PTH线常见问题及解决
七、 背光级数表
展开阅读全文