传感器与现代检测技术.pptx

0.1 测量系统概述0.2 传感器的基本知识绪论 测量系统与传感器概述0.1 测量系统概述测量的定义测量是以确定量值为目的的一系列操作。所以测量也就是将被测量与同种性质的标准量进行比较，确定被测量对标准量的倍数。0.1 测量系统概述测量方法实现被测量与标准量比较得出比值的方法，称为测量方法。针对不同测量任务进行具体分析以找出切实可行的测量方法，对测量工作是十分重要的。直接测量、间接测量和组合测量等精度测量与非等精度测量偏差式测量、零位法测量与微差法测量静态测量与动态测量接触测量与非接触测量主动式测量与被动式测量0.1 测量系统概述测量方法直接测量测量过程简单而迅速；测量精度不高。0.1 测量系统概述测量方法间接测量手续较多，费时长，一般用于不便于直接测量或缺乏直接测量手段的场合。0.1 测量系统概述测量方法静态测量0.1 测量系统概述测量方法动态测量0.1 测量系统概述测量方法接触式测量0.1 测量系统概述测量方法非接触式测量0.1 测量系统概述测量方法离线测量0.1 测量系统概述测量方法在线测量0.1 测量系统概述测量方法等精度与不等精度测量等精度测量用相同仪表和方法对同一对象进行多次测量不等精度测量用不同的仪表，或不同的方法，或在环境相差很大时对同一对象进行多次测量0.1 测量系统概述测量方法偏差式、零位式和微差式测量偏差式测量用仪表指示的偏差决定被测量的量值零位式测量在测量系统平衡时，用已知的标准量决定被测量的量值微差式测量将被测量与已知的标准量相比较得到差值，再用偏差法测量该差值0.1 测量系统概述测量误差测量误差就是测量值与真实值之间的差值。它反映了测量质量的好坏。误差的表示方法误差的性质误差的消除或削弱0.1 测量系统概述测量误差表示方法绝对误差相对误差引用误差基本误差附加误差0.1 测量系统概述测量误差误差性质根据测量数据中的误差所呈现的规律，将误差分为三种。这种分类方法便于测量数据处理。系统误差随机误差粗大误差0.1 测量系统概述测量误差系统误差的消除消除系统误差的根源 在测量结果中进行修正 在测量系统中采用补偿措施 实时反馈修正 0.2 传感器的基本知识传感器的定义能感受规定的被测量并按照一定的规律将其转换成可用输出信号的器件或装置。敏感元件检测器转换器 将被测非电量信号转换为与之有确定对应关系的电量信号输出的器件或装置。0.2 传感器的基本知识传感器技术的地位美国国家长期安全和经济繁荣至关重要的22项技术中有6项与传感器技术直接相关。保持美国武器系统质量优势至关重要的关键技术中有8项为传感器技术。美国空军举出15项有助于提高21世纪空军能力的关键技术中，传感器技术名列第二。早在上世纪80年代，日本就把传感器技术列为该国优先发展的十大技术之首。目前，我国也把传感器技术列为重点发展的技术之一。0.2 传感器的基本知识传感器发展的现状国际p种类约2万种 p专业从事传感器生产的厂家有5000多家（其中，美、俄、欧各1000多家，日本800多家）国内p1986年开始列入国家重点攻关项目，投入了以机械、力敏、气敏、湿敏、生物敏为主的五大敏研究。p黑龙江、安徽、陕西三大产业基地p国产各种传感器3000多种 0.2 传感器的基本知识传感器的组成敏感元件转换元件信号转换和信号调理电路辅助电源输出量（电量）输入量0.2 传感器的基本知识传感器的组成（示例：电位器式压力传感器）0.2 传感器的基本知识传感器的组成（示例：电位器式压力传感器）0.2 传感器的基本知识传感器的组成（示例：弹簧管压力表）0.2 传感器的基本知识传感器的分类按被测参数分类（温度、位移、压力、速度、）按工作原理分类（电阻、电容、压电、光电、）按输出信号分类（数字式和模拟式）按能量关系分类（有源和无源）按工作机理分类（结构型和物性型）0.2 传感器的基本知识传感器的发展方向新材料的开发和应用 新工艺和新技术的应用新效应的应用集成化多维化多功能化智能化第一章第一章 传感器的一般特性传感器的一般特性传感器与现代检测技术传感器与现代检测技术 电子讲稿 1.1 静态特性1.2 动态特性第一章 传感器的一般特性1.1.1 线性度1.1.5 迟 滞1.1.2 灵敏度1.1.6 重复性1.1.3 精确度1.1.7 漂 移1.1.4 分辨力1.1.8 可靠性1.1 传感器的静态特性1.1 传感器的静态特性线性度1.1.1 线性度传感器的输出与输入之间数量关系的线性程度。Ymax非线性误差（线性度）xyxmaxymax0ymin1.1 传感器的静态特性线性度1.1.1 线性度直线拟合方法端点连线端点平移线最小二乘直线过零最小二乘直线1.1 传感器的静态特性灵敏度1.1.2 灵敏度传感器的输出量增量与引起该增量的输入量增量的比值。相对灵敏度1.1 传感器的静态特性精确度1.1.3 精确度反应传感器测量的可靠程度的指标，简称精度。通常以误差的形式来反应。随机误差精密度系统误差正确度根据最大引用误差划分精度等级 1.1 传感器的静态特性分辨力1.1.4 分辨力又称分辨率，是反应传感器能测量到输入量最小变化的能力。传感器的分辨力应小于允许误差的1/3、1/5或1/10 可以通过提高敏感单元的增益来提高分辨力 其大小应能保证在稳态测量时输出值波动很小 1.1 传感器的静态特性迟滞1.1.5 迟滞正、反行程期间，输出-输入特性曲线不重合的现象称为迟滞。1.1 传感器的静态特性重复性1.1.6 重复性传感器在同一工作条件下，输入量按同一方向作全量程连续多次变化时，所得特性曲线不一致的程度。1.1 传感器的静态特性重复性1.1.6 重复性标准偏差的计算1.1 传感器的静态特性漂移1.1.7 漂移作用在传感器上的输入不变时，输出值随时间而变化的现象。漂移的同义词是传感器的不稳定性。产生漂移的原因有两个方面：一是传感器的自身结构参数变化；二是外界工作环境参数的变化。最常见的漂移问题是温漂 传感器的漂移通常表现在两个方面：灵敏度漂移和零点漂移。1.1 传感器的静态特性可靠性1.1.8 可靠性反映传感器检测系统在规定的条件下、规定的时间内是否耐用的一种综合性的质量指标。1.2.1 动态特性概述1.2.2 瞬态响应特性1.2.3 频率响应特性1.2 传感器的动态特性1.2 传感器的动态特性概述1.2.1 动态特性概述传感器的动态特性是指其输出对随时间变化的输入量的响应特性。动态测温1.2.2.1 一阶传感器的单位阶跃响应1.2.2.2 二阶传感器的单位阶跃响应1.2.2.3 瞬态响应的特性指标1.2.2 瞬态响应特性1.2.2 瞬态响应特性一阶1.2.2.1 一阶传感器的单位阶跃响应通式传递函数输出1.2.2 瞬态响应特性一阶1.2.2.1 一阶传感器的单位阶跃响应（续）响应信号1.2.2 瞬态响应特性二阶1.2.2.2 二阶传感器的单位阶跃响应通式传递函数输出1.2.2 瞬态响应特性二阶1.2.2.2 二阶传感器的单位阶跃响应（续）n的影响 的影响 1.2.2 瞬态响应特性指标1.2.2.3 瞬态响应的特性指标时间常数（仅对一阶）延时时间上升时间峰值时间稳定时间（建立时间）超调量1.2.3.1 一阶传感器的频率响应1.2.3.2 二阶传感器的频率响应1.2.3.3 频率响应的特性指标1.2.3 频率响应特性1.2.3 频率响应特性一阶1.2.3.1 一阶传感器的频率响应表达式幅频特性相频特性1.2.3 频率响应特性一阶1.2.3.1 一阶传感器的频率响应（续）减小时间常数可改善一阶传感器的频率特性一阶传感器系统是一个低通环节 时间常数 也决定了传感器适应的工作频率范围1.2.3 频率响应特性二阶1.2.3.2 二阶传感器的频率响应表达式幅频特性相频特性1.2.3 频率响应特性二阶1.2.3.2 二阶传感器的频率响应（续）二阶传感器是一个振荡环节 二阶传感器系统是一个低通环节 最佳阻尼比为0.65左右固有频率的影响1.2.3 频率响应特性指标1.2.3.3 频率响应的特性指标频带时间常数固有频率第二章第二章 电阻应变式传感器电阻应变式传感器传感器与现代检测技术传感器与现代检测技术 电子讲稿 2.1 工作原理2.2 测量电路2.3 误差补偿2.4 应用简介第二章 电阻应变式传感器2.1.1 应变效应2.1.2 弹性敏感元件 2.1.3 应变式传感器2.1 电阻应变式传感器的工作原理2.1.1 应变效应金属丝的应变分析初始电阻2.1.1 应变效应金属丝受拉后的电阻变化电阻变化量电阻的相对变化量2.1.1 应变效应轴向应变与径向应变轴向应变电阻的相对变化量径向应变2.1.1 应变效应金属材料的灵敏度系数2.1.1 应变效应半导体的灵敏度系数半导体受到应力作用后电阻率发生明显变化的现象称为压阻效应。2.1.2 弹性敏感元件弹性圆柱2.1.2 弹性敏感元件等截面悬臂梁 2.1.2 弹性敏感元件等强度悬臂梁 2.1.2 弹性敏感元件弹性圆环 A(B)处2.1.2 弹性敏感元件周边固支圆形平膜片（应力）距圆心r 处的应力2.1.2 弹性敏感元件周边固支圆形平膜片（应变）距圆心r 处的应变2.1.2 弹性敏感元件周边固支圆形平膜片（应变分布图）2.1.2 弹性敏感元件周边固支圆形平膜片（固有频率）2.1.2 弹性敏感元件弹性薄壁圆筒2.1.2 弹性敏感元件扭转圆柱2.1.3 应变式传感器简介金属应变片丝式敏感栅由直径为1550m的金属细丝绕制而成。它制作简单、性能稳定、成本低。但横向效应的影响相对比较大。薄膜敏感栅在薄的绝缘基片上形成0.1m以下的金属电阻薄膜的敏感栅。它的主要优点是应变灵敏度系数大，允许电流密度大，工作范围广。箔式敏感栅利用特殊工艺制成很薄的金属箔栅，其厚度一般在310m。其优点是散热条件好，允许通过的电流较大，可制成各种所需的形状，便于批量生产。实验证明，K在较大范围内均为常数，且略小于试件材料的灵敏度系数。2.1.3 应变式传感器简介金属应变片的灵敏度应变片标定的K，是在=0.285的试件受一维应力作用，并且应变片敏感栅的长度方向与应力方向一致时测定的。半导体应变片是用半导体材料制成的，其工作原理是基于半导体材料的压阻效应。2.1.3 应变式传感器简介半导体应变片突出优点是灵敏度高，比金属丝式高5080倍，尺寸小，横向效应小，动态响应好。主要缺点是温度系数大，应变时非线性比较严重。工艺一致性好，灵敏度高，漂移、迟滞、蠕变非常小，动态响应快等优点。而且还可以将误差补偿、信号调理等电路集成在一块硅片上。2.1.3 应变式传感器简介压阻式固态压力传感器2.2.1 直流电桥2.2.2 交流电桥 2.2.3 电阻应变仪2.2 电阻应变式传感器的测量电路平衡条件 2.2.1 直流电桥组成结构及平衡条件2.2.1 直流电桥不平衡时的输出电压2.2.1 直流电桥灵敏度电桥电压灵敏度正比于电桥供电电压，但供电电压的提高受到应变片允许功耗的限制，一般取为36V。当k=1时KU有最大值U/4。平衡条件 2.2.2 交流电桥组成结构及平衡条件2.2.2 交流电桥不平衡时的输出电压设Z2=Z1，Z4=Z3，并略去分母中的Z1/Z12.2.3 电阻应变仪电阻应变仪高增益的放大器 阻抗变换p静态电阻应变仪p静动态电阻应变仪（100Hz以下）p动态电阻应变仪（可达1kHz）p超动态电阻应变仪（10kHz以上）2.3.1 横向效应2.3.2 单臂电桥非线性误差 2.3.3 温度误差2.3 电阻应变式传感器的误差补偿2.3.1 横向效应产生原因与补偿措施采用箔式应变片。可使圆弧部分截面积大很多，以减小这部分的电阻值，使其电阻相对变化量小得多。2.3.2 单臂电桥的非线性误差非线性误差非线性误差 实际输出电压 2.3.2 单臂电桥的非线性误差半桥差动电路补偿非线性误差k=1且R1=R2时 2.3.2 单臂电桥的非线性误差全桥差动电路补偿非线性误差若R1=R2=R3=R4，且R1=R2=R3=R4 2.3.3 温度误差产生原因之一电阻温度系数温度变化t时2.3.3 温度误差产生原因之二线膨胀系数温度变化t时，若二者不粘贴，长度分别为设电阻丝和试件在温度为t0时的长度均为L0，它们的线膨胀系数分别为s和g。2.3.3 温度误差产生原因之二线膨胀系数（续）温度变化t时，若二者粘贴在一起，电阻丝产生的附加长度增加、附加应变、附加电阻变化分别为 2.3.3 温度误差温度变化带来的附加应变R3和R4在整个测试过程中保持相等；R1和RB两个应变片应具有相同的电阻温度系数、线膨胀系数、应变灵敏度系数Ks和初始电阻值R0；粘贴补偿片的补偿块材料和粘贴工作片的被测试件材料必须一样，两者线膨胀系数相同；两应变片处于同一温度场中。2.3.3 温度误差温度误差的补偿线路补偿法2.3.3 温度误差温度误差的补偿自补偿法自补偿条件2.4.1 应变式力传感器2.4.2 应变式压力传感器2.4.3 投入式液位计2.4.4 材料应变监测2.4 电阻应变式传感器应用简介2.4.1 应变式力传感器弹性敏感元件实物图2.4.1 应变式力传感器弹性敏感元件的使用示意图2.4.1 应变式力传感器汽车衡称重系统2.4.1 应变式力传感器电子秤2.4.1 应变式力传感器应变式数显扭矩扳手可用于汽车、摩托车、飞机、内燃机、机械制造和家用电器等领域，准确控制紧固螺纹的装配扭矩。2.4.2 应变式压力传感器小型压阻式固态压力传感器2.4.3 投入式液位计投入式液位计及其使用2.4.4 材料应变监测斜拉桥的拉绳应变测试第三章第三章 电容式传感器电容式传感器传感器与现代检测技术传感器与现代检测技术 电子讲稿 3.1 工作原理3.2 测量电路3.3 误差分析3.4 应用简介第三章 电容式传感器3.1 电容式传感器的工作原理电容器的电容量（不考虑边缘效应）平板式电容器圆筒式电容器3.1.1 变极距式3.1.2 变面积式3.1.3 变介电常数式3.1 电容式传感器的工作原理3.1.1 变极距式电容传感器的工作原理原理简介初始电容相对变化极距减小后3.1.1 变极距式电容传感器的工作原理原理简介（续）线 性 化静态灵敏度非线性误差3.1.1 变极距式电容传感器的工作原理提高性能的措施减小初始极距3.1.1 变极距式电容传感器的工作原理提高性能的措施差动式结构3.1.2 变面积式电容传感器的工作原理平板型直线位移式3.1.2 变面积式电容传感器的工作原理平板型角位移式3.1.2 变面积式电容传感器的工作原理圆筒型直线位移式3.1.2 变面积式电容传感器的工作原理变面积式电容传感器的特点忽略边缘效应时，灵敏度系数为常数增大极板面积和减小极距都可提高灵敏度，但前者受结构限制，后者受介质的介电能力限制构成差动式可使灵敏度系数提高一倍测量范围比变极距式大，可测较大的直线位移或角位移对两极板的平行度要求高，稍有倾斜就会带来较大的误差，因此常做成圆筒型 3.1.3 变介电常数式电容传感器的工作原理电容式液位传感器3.1.3 变介电常数式电容传感器的工作原理变介质型电容式传感器3.1.3 变介电常数式电容传感器的工作原理测位移的变介质型电容式传感器3.1.3 变介电常数式电容传感器的工作原理测位移的变介质型电容式传感器（续）3.2.1 调频式电路3.2.2 运放电路3.2.3 电桥电路3.2.4 脉宽调制电路3.2 电容式传感器的测量电路3.2.1 调频式测量电路结构框图3.2.1 调频式测量电路主要特点灵敏度较高，可测0.01m级位移变化量；频率输出易于计算机处理和数字仪器测量；抗干扰能力强；可发送、接收以实现遥测遥控。3.2.2 运算放大器式测量电路基本原理3.2.2 运算放大器式测量电路主要特点由于放大器的增益和输入阻抗都不可能是无穷大，所以仍存在一定的非线性误差 固定电容必须要稳定，且需高精度的交流稳压电源 由于电容传感器的电容量小，容抗很高，所以传感器与放大器之间的联结，需要采取屏蔽措施 不适用于差动式电容传感器的测量 3.2.3.1 阻容电桥3.2.3.2 变压器电桥3.2.3.3 双T电桥3.2.3 电桥电路3.2.3.1 阻容电桥电路原理框图3.2.3.1 阻容电桥电路主要特点实质上是一种调幅电路，它要求电源的幅度和频率都很稳定 要求电桥放大器的输入阻抗很高 测量系统的动态响应受电桥电源频率的限制，一般要求交流电源的频率为被测信号频率的510倍 3.2.3.2 变压器电桥电路原理框图3.2.3.2 变压器电桥电路主要特点在负载阻抗极大时，即便是变极距型电容传感器，只要以差动方式接入变压器电桥电路，输出电压也会与位移呈线性关系 要求桥压必须稳定 其后必须接高输入阻抗的放大器 3.2.3.3 双T电桥电路基本原理3.2.3.3 双T电桥电路主要特点输出电压较高 要求输入电源的频率和幅值都要稳定 当输入电源幅值较高，使二极管工作在线性区域时，测量的非线性误差很小 可用于测量高速的机械运动 电路的输出阻抗与电容无关，而仅与电阻有关 3.2.4 脉宽调制式测量电路结构框图3.2.4 脉宽调制式测量电路主要特点不论对变面积式或变极距式电容传感器，均能获得线性输出 只需低通滤波器就能获得直流输出，不需相敏解调器 只需一个电压稳定度较高的直流电源，而不像其他测量电路那样需要高稳定度的交流电源 3.3.1 温度误差3.3.2 边缘效应3.3.3 绝缘问题3.3.4 寄生电容3.3 电容式传感器的误差分析3.3.1 电容式传感器的温度误差温度变化对结构稳定性的影响温度变化能引起电容式传感器各组成零件的任何尺寸改变，从而导致电容极板间隙或面积发生变化，产生附加电容变化。在结构设计中，应尽量减少热膨胀尺寸链的组成环节数目及尺寸 选用膨胀系数小，任何尺寸稳定的材料 采用差动对称结构，并在测量线路中对温度误差加以补偿 3.3.1电容式传感器的温度误差温度变化对介质介电常数的影响温度变化能引起电容器极板间介质介电常数的变化，使电容量改变，带来温度误差。3.3.2电容式传感器的边缘效应边缘效应的影响与抑制措施电容器极板边缘存在不均匀电场，造成边缘效应，使电容传感器灵敏度下降并产生非线性误差。增大初始电容量，即增大极板面积，减小极距 加装“等位环”3.3.3电容式传感器的绝缘问题绝缘电阻的影响与增大绝缘电阻的方法电容式传感器的电容量一般很小，传感器本身的容抗可达几兆欧至几百兆欧。所以，必须要有很高的绝缘电阻选择绝缘电阻时，不仅要求具有低的膨胀系数和几何尺寸的长期稳定性，还应有高绝缘电阻、低吸潮性和高表面电阻。为防止水汽进入，可将外壳密封。采用高的电源频率，以降低传感器的内阻抗。3.3.4电容式传感器的寄生电容寄生电容的影响与抑制方法寄生电容不但与传感器电容并联影响传感器的灵敏度；而且寄生电容又是极不稳定的，会导致传感器特性的不稳定，从而对传感器产生严重干扰。构成整体式或有源式传感器。采用所谓的“双层屏蔽等电位传输技术”（有的称为“驱动电缆技术”）电容式传感器除了极板之间的电容外，极板还可能与周围物体之间产生电容联系。这种附加的电容联系，称为寄生电容。3.4.1 液位计3.4.2 加速度传感器3.4.3 湿敏传感器3.4.4 接近开关3.4 电容式传感器应用简介3.4.1 电容式液位计应用简介外形与结构棒状电极（金属管）外面包裹聚四氟乙烯套管 3.4.1 电容式液位计应用简介使用方法3.4.1 电容式液位计应用简介电容式液位限位计与液位传感器的区别在于：它不给出模拟量，而是直接给出开关量。当液位到达设定值时，它输出低电平或高电平。3.4.2 硅微加工电容式加速度传感器应用简介结构原理图3.4.2 硅微加工电容式加速度传感器应用简介部分实物图3.4.2 硅微加工电容式加速度传感器应用简介在汽车中的应用安全气囊控制3.4.2 硅微加工电容式加速度传感器应用简介在军事中的应用钻地炸弹3.4.3 湿敏电容式传感器应用简介结构与外形3.4.3 湿敏电容式传感器应用简介安装使用齐平式大量程式非齐平式全密封防水式3.4.4 电容式接近开关应用简介部分外形图3.4.4 电容式接近开关应用简介在液位测量控制中的应用3.4.4 电容式接近开关应用简介在物位测量控制中的应用第四章第四章 电感式传感器电感式传感器传感器与现代检测技术传感器与现代检测技术 电子讲稿 4.1 自感式传感器4.2 差动变压器4.3 电涡流传感器4.4 应用简介第四章 电感式传感器4.1.1 工作原理4.1.2 输出特性 4.1.3 测量电路4.1 自感式传感器4.1.1 自感式传感器的工作原理铁心线圈-衔铁结构中线圈的自感4.1.1 自感式传感器的工作原理其他结构形式变气隙面积型螺线管型4.1.1 自感式传感器的工作原理差动式结构4.1.2 变气隙式自感传感器的输出特性输出特性线性化初始电感电感增量相对增量灵敏度系数气隙长度增加后 4.1.2 变气隙式自感传感器的输出特性非线性误差与改进措施非线性误差差动式结构4.1.3 自感式传感器的测量电路交流电桥开路输出电压若Z1=Z+Z，Z2=Z-Z 4.1.3 自感式传感器的测量电路变压器电桥开路输出电压若Z1=Z+Z，Z2=Z-Z 4.1.3 自感式传感器的测量电路谐振式调幅电路4.1.3 自感式传感器的测量电路谐振式调频电路4.2.1 工作原理4.2.2 结构形式 4.2.3 测量电路4.2 差动变压器4.2.1 差动变压器的工作原理等效电路与电磁关系4.2.1 差动变压器的工作原理输出特性4.2.1 差动变压器的工作原理零点残余电压基波残余电压产生的主要原因是传感器的两个二次绕组的电气参数和几何尺寸不对称。高次谐波残余电压产生的原因是由于磁性材料磁化曲线的非线性。一般在几十毫伏以下。使用时应设法减小其影响。4.2.2 差动变压器的结构形式结构形式分类变气隙式变面积式螺线管式4.2.2 差动变压器的结构形式螺线管式差动变压器的线圈排列方式4.2.3 差动变压器的测量电路差动整流电路4.2.3 差动变压器的测量电路相敏检波电路4.2.3 差动变压器的测量电路相敏检波电路正半周的输出4.2.3 差动变压器的测量电路相敏检波电路负半周的输出4.3.1 工作原理4.3.2 基本特性 4.3.3 类型与结构4.3 电涡流式传感器4.3.1 电涡流式传感器的工作原理电涡流线圈输入阻抗4.3.1 电涡流式传感器的工作原理简化模型贯穿深度4.3.1 电涡流式传感器的工作原理简化模型的等效电路电涡流短路环等效电阻4.3.1 电涡流式传感器的工作原理等效输入阻抗4.3.2 电涡流的基本特性电涡流的径向形成范围4.3.2 电涡流的基本特性电涡流的径向分布规律电涡流径向形成的范围大约在传感器线圈外径ras的1.82.5倍范围内，且分布不均匀；电涡流密度在短路环半径r=0处为零；电涡流电密的最大值在r=ras附近的一个狭窄区域内；可以用一个平均半径为ras的短路环来集中表示分散的电涡流。4.3.2 电涡流的基本特性电涡流的轴向分布4.3.2 电涡流的基本特性电涡流强度与距离的关系4.3.3 电涡流传感器的类型与结构类型高频反射式低频透射式4.3.3 电涡流传感器的类型与结构低频透射式工作原理检测范围可达1100mm分辨率达0.1m 非线性误差为1%左右4.3.3 电涡流传感器的类型与结构电涡流探头内部结构4.3.3 电涡流传感器的类型与结构电涡流传感器使用注意事项被测体的半径不能小于线圈半径的1.8倍；被测体为圆柱体时，其直径必须大于线圈直径的3.5倍以上；被测导体的厚度不能太薄；安装位置要正确，线圈尽量不要与能够产生电涡流的其他任何金属接触。4.4 电感式传感器的应用简介仿形机床4.4 电感式传感器的应用简介位移测量4.4 电感式传感器的应用简介直径分选装置4.4 电感式传感器的应用简介压力测量4.4 电感式传感器的应用简介不圆度测试系统4.4 电感式传感器的应用简介偏心的振动检测4.4 电感式传感器的应用简介厚度检测4.4 电感式传感器的应用简介振动监测4.4 电感式传感器的应用简介转速测量4.4 电感式传感器的应用简介涂层厚度检测4.4 电感式传感器的应用简介表面探伤4.4 电感式传感器的应用简介电涡流探雷