不同加工方式切割烧结钕铁硼磁体的表面微观形貌和粗糙度研究.pdf

材料研究与应用 2023，17（3）：572578Materials Research and ApplicationEmail：http：/不同加工方式切割烧结钕铁硼磁体的表面微观形貌和粗糙度研究元云岗,程星华,张昕,霍思媛（安泰科技股份有限公司，北京 100083）摘要：采用电花火加工、电镀金刚石线和内圆锯片切割钕铁硼材料，分析电火花加工、电镀金刚石线和内圆锯片切割对烧结钕铁硼磁体的微观形貌和表面粗糙度的影响。利用 SJ-410 粗糙度仪、JMS-6010LA 型扫描电子显微镜，对不同加工方式的切割工具的微观形貌、磁体的表面微观形貌及表面粗糙度进行表征。结果表明：电火花加工材料的去除方式为熔化、气化和热应力，内圆锯片和电镀金刚线的材料去除方式为塑性去除和塑性变形；在不同加工方式和切割速度条件下，电火花加工表面粗糙度最高达到了 7.5 m；在0.15 mmmin1切割速度下，电镀金刚石线的材料外形规则并呈球状，切割以面与面切削，单位应力小，金刚石压入深度小，粗糙度最小；在高切割速度下，电镀金刚石线的往复运动存在线锯切割换向，对工件会产生较大的正应力，表面粗糙度值高于内圆锯片。关键词：电火花加工；电镀金刚石线；内圆锯片；烧结钕铁硼；表面微观形貌；表面粗糙度中图分类号：TB34文献标志码：A 文章编号：1673-9981（2023）03-0572-07引文格式：元云岗，程星华，张昕，等.不同加工方式切割烧结钕铁硼磁体的表面微观形貌和粗糙度研究 J.材料研究与应用，2023，17（3）：572-578.YUAN Yungang，CHENG Xinghua，ZHANG Xin，et al.Study on Surface Morphology and Roughness of Sintered Nd-Fe-B Magnets Cutting by Different Processing Methods J.Materials Research and Application，2023，17（3）：572-578.烧结钕铁硼磁体作为第三代稀土永磁材料，由于其高磁能积、高矫顽力和高剩磁，被广泛应用于电子消费品、新能源汽车、医疗、航空航天等领域中。由于烧结钕铁硼磁体的高性能，推动了应用领域持续小型化、高能化和元件化的方向发展，并在消费类电子产品领域中不断引发新的设计和产品的更新换代，对产品的形状、尺寸和表面粗糙度提出了更高的要求1-3。烧结钕铁硼磁体属于硬脆材料，其强度和硬度高、脆性大，加工缺点是塑性低、易脆性破坏、产生微裂纹和加工成本高，这些特征导致加工十分困难，加工方法选择不适会引起工件表面层组织的破坏，难实现高精度、高效率、高可靠性的加工。目前，加工烧结钕铁硼磁体的方式主要是电火花 加 工 工 艺、电 镀 金 刚 石 线 工 艺 和 内 圆 锯 切 工艺4-5。电火花加工工艺具有可切割复杂尺寸、对材料机械性能无要求、切割合格率高等优点，被广泛应用于切割烧结钕铁硼磁体。电火花加工是通过对电极丝（钼丝）加载脉冲电压，电极丝和工件置于绝缘的工作液中，因电极之间的放电效应，产生火花放电，通过悬浮于电介质中高能等离子体的刻蚀作用，使工件表层材料融熔、气化而去除，实现材料切割6-7。Arvi Knuusing 等8对烧结钕铁硼材料进行线电火花加工发现，电火花加工能取得更好的精度和表面粗糙度，而且他对材料的热损伤小，但其加工效率低。李丽等9-10设计不同参数下电火花线切割钕铁硼材料，研究电火花线切割钕铁硼材料的去除机理，探究电火花线切割参数对钕铁硼材料的切割效率及表面粗糙度的影响。固结磨料金刚石具有切割效率高、锯缝宽度小、切片质量好等优点，应用于切割烧结钕铁硼材料，并且发展出内圆锯切和电镀金刚石线工艺11-12。内圆锯切是刀片内圆刃口镀金刚石，被切割材料相对于刀片旋转中心在径向做相对运动，从而实现物料切割。大量学者对内圆锯切效率优化、内圆锯切切割质量、内圆锯切机理研究做了大量工作13-16。电镀金刚石线是通过电镀工艺将镍或镍合金沉积到刚线基体上，依靠镀层固结金刚石磨粒，学者们的研究主要集中在切割机理、电镀金刚线磨粒密度的影响、镍收稿日期：2022-08-10作者简介：元云岗，硕士，工程师，研究方向为稀土永磁材料，E-mail：。DOI：10.20038/ki.mra.2023.000321层结合力方面17-21。本文通过对电花火加工、内圆锯切和电镀金刚石线切割烧结钕铁硼材料的微观形貌和表面粗糙度的研究，得出三者对表面粗糙度的影响机理，同时进行了差异对比，为实际生产选择工艺提供理论参考。1实验材料与方法1.1实验材料实验材料选用 50SH 烧结钕铁硼磁体，由安泰科技股份有限公司提供。采用电花火加工、内圆锯切和电镀金刚石线加工烧结钕铁硼磁体，试样的尺寸为 47 mm38 mm2 mm1.2实验方法利用型号 DK77400 线切割设备、型号 J5060C内圆切片机和型号 CF400T 型多线切割机对烧结钕铁硼磁体进行加工，其中切割速度分别为 0.15、0.45和 0.75 mmmin1。采用 JMS-6010LA 型扫描电子显微镜，观察切割面的微观形貌。采用 SJ-410 型表面粗糙度仪，测试切割面表面粗糙度，其中粗糙度仪设定参数为c=0.8 mm、In=5。2实验结果与分析2.1断面微观形貌采用粉末冶金工艺生产烧结钕铁硼磁体，并且对烧结钕铁硼磁体进行折断处理，观察其断面的微观形貌（见图 1）。从图 1可以看出：断口平整且为结晶状、颜色较亮，白色的富钕相均匀地分布在主相的周边；断面呈现明显的脆断特征，主要为沿晶断裂，也有少量的穿晶断裂。2.2不同加工方式的切割工具的微观形貌电火花加工是通过对电极丝（钼丝）加载脉冲电压，电极丝和被切割材料形成 2个不同电极，两电极之间的放电效应，产生火花放电，使被切割材料表层材料融熔，气化而去除，实现材料切割。内圆锯切和电镀金刚石线工艺是不同工艺，分别是将金刚石磨粒固结在内圆刃口或刚线基体上。图 2为不同加工方式的切割工具的微观形貌。从图 2 可以看出：钼丝表面光滑，其直径为 0.180.2 mm；而内圆锯片表面金刚石随机分布于内圆刃口表面且无团聚现象，金刚石尺寸为 25100 m，金刚石形状不规则尖棱位置多；与内圆锯片表面金刚石相比，电镀金刚石线表面的金刚石比较均匀地分布于基体线表面，但存在微团聚，金刚石尺寸为 2060 m，比内圆锯片表面金刚石的尺寸小 40%。与内圆锯片表面金刚石相比，其金刚石形状成球形，尖棱区域小。（a）断面 500；（b）断面金相 500。（a）section 500；（b）section metallographic structure 500.图 1烧结钕铁硼磁体的断面微观形貌Figure 1Cross section micromorphology of sintered NdFeB magnet元云岗等：不同加工方式切割烧结钕铁硼磁体的表面微观形貌和粗糙度研究层结合力方面17-21。本文通过对电花火加工、内圆锯切和电镀金刚石线切割烧结钕铁硼材料的微观形貌和表面粗糙度的研究，得出三者对表面粗糙度的影响机理，同时进行了差异对比，为实际生产选择工艺提供理论参考。1实验材料与方法1.1实验材料实验材料选用 50SH 烧结钕铁硼磁体，由安泰科技股份有限公司提供。采用电花火加工、内圆锯切和电镀金刚石线加工烧结钕铁硼磁体，试样的尺寸为 47 mm38 mm2 mm1.2实验方法利用型号 DK77400 线切割设备、型号 J5060C内圆切片机和型号 CF400T 型多线切割机对烧结钕铁硼磁体进行加工，其中切割速度分别为 0.15、0.45和 0.75 mmmin1。采用 JMS-6010LA 型扫描电子显微镜，观察切割面的微观形貌。采用 SJ-410 型表面粗糙度仪，测试切割面表面粗糙度，其中粗糙度仪设定参数为c=0.8 mm、In=5。2实验结果与分析2.1断面微观形貌采用粉末冶金工艺生产烧结钕铁硼磁体，并且对烧结钕铁硼磁体进行折断处理，观察其断面的微观形貌（见图 1）。从图 1可以看出：断口平整且为结晶状、颜色较亮，白色的富钕相均匀地分布在主相的周边；断面呈现明显的脆断特征，主要为沿晶断裂，也有少量的穿晶断裂。2.2不同加工方式的切割工具的微观形貌电火花加工是通过对电极丝（钼丝）加载脉冲电压，电极丝和被切割材料形成 2个不同电极，两电极之间的放电效应，产生火花放电，使被切割材料表层材料融熔，气化而去除，实现材料切割。内圆锯切和电镀金刚石线工艺是不同工艺，分别是将金刚石磨粒固结在内圆刃口或刚线基体上。图 2为不同加工方式的切割工具的微观形貌。从图 2 可以看出：钼丝表面光滑，其直径为 0.180.2 mm；而内圆锯片表面金刚石随机分布于内圆刃口表面且无团聚现象，金刚石尺寸为 25100 m，金刚石形状不规则尖棱位置多；与内圆锯片表面金刚石相比，电镀金刚石线表面的金刚石比较均匀地分布于基体线表面，但存在微团聚，金刚石尺寸为 2060 m，比内圆锯片表面金刚石的尺寸小 40%。与内圆锯片表面金刚石相比，其金刚石形状成球形，尖棱区域小。（a）断面 500；（b）断面金相 500。（a）section 500；（b）section metallographic structure 500.图 1烧结钕铁硼磁体的断面微观形貌Figure 1Cross section micromorphology of sintered NdFeB magnet573材料研究与应用 2023年 第 17 卷 第 3 期2.3相同加工方式和下不同加工速度的切割微观形貌和表面粗糙度2.3.1电火花加工不同的加工速度会形成不同的切割微观形貌。图 3为电火花加工切割不同切割速度下切割微观形貌。从图 3（a）可以看出，在低切割速度下切割面呈现凸起和凹坑状态，但凹坑深度较浅。这是由于低切割速度下，脉冲宽度和峰值电流低，单脉冲能量低且热量小，因此产生的爆炸冲击力小，材料的蚀除方式以熔化、气化为主，放电中靠近基体的熔化材料由于热量低在放电间隙凝固，形成浅凹坑。同时，在此加工参数下脉冲间隙大，蚀除产物能有效地排出，凸起和凹坑平缓，表面粗糙低。从图 3（b）可见，随着切割速度增加，表面出现深凹坑，这是由于脉冲宽度和峰值电流增加，单脉冲能力高且热量大，产生的爆炸冲击力大，材料的蚀除方式以热应力去除为主，熔化、气化方式为辅。从图 3（c）可见，在高切割速度（0.75 mmmin1）下，电火花加工的表面出现微裂纹。这是由于加工表面骤热骤冷，熔融状态下的合金迅速冷却而收缩，基体产生极大的拉应力，局部应力超出烧结钕铁硼材料的强度极限时切割表面产生微裂纹，因此单脉冲能量越大，拉应力越大，裂纹数量越多。（a）0.15 mmmin1；（b）0.45 mmmin1；（c）0.75 mmmin1。图 3电火花加工时切割微观形貌Figure 3micro-morphology of EDM cutting（a）钼丝，50；（b）内圆锯片，50；（c）电镀金刚石线，50；（a1）钼丝，200；（b1）内圆锯片，200；（c1）电镀金刚石线，200。（a）molybdenum wire，50；（b）internal circular saw blade，50；（c）electroplated diamond wire，50；（a1）molybdenum wire，200；（b1）internal circular saw blade，200；（c1）electroplated diamond wire，200.图 2不同加工方式切割工具表面的微观形貌Figure 2Micro-morphology of cutting tools with different processing methods574元云岗等：不同加工方式切割烧结钕铁硼磁体的表面微观形貌和粗糙度研究电火花加工时，电极和加工材料形成放电通道，瞬时高温热源的热传导使加工材料的局部温度高于其熔点或沸点，在放电点附近区域迅速熔化和气化，放电结束后工作液迅速冲刷放电区域，带走部分熔融材料及冷却加工表面，形成凹坑和裂纹。加工表面材料经局部高温处理，微观结构发生变化，图 4为电火花加工的断面微观形貌。从图 4 可以看出：烧结钕铁硼材料表面的微观结构发生变化而形成熔化凝固层，该层快速熔融和凝固而形成非晶结构；中间层为热影响区，热影响区在局部高温下发生相组织变化，富钕相未均匀分布在主相周边；最下层为基体，白色富钕相均匀地分布于主相周边。熔化凝固层和热影响区对材料本身磁性能和后续的表面处理（喷涂、镀锌、和镀镍等）会产生影响，导致磁性能降低和镀层与加工材料结合力差，以及材料表面防护层的耐腐蚀性差。电火花加工的烧结钕铁硼磁体，需要后续的磨削加工处理熔化凝固层和热影响区后再进行表面处理。2.3.2内圆锯片加工及电镀金刚石线切割图 5为内圆锯片切割不同切割速度下切割微观形貌。从图 5 可以看出：经内圆锯片切割的烧结钕铁硼，其切割表面存在划痕、犁沟、破碎和凹坑；在低切割速度下，烧结钕铁硼材料以塑性切削为主，金刚石磨粒的压入深度小于烧结钕铁硼材料脆塑性变形的临界压入深度，材料去除以塑性剪切为主，使切割表面存在大量犁沟和浅划痕，同时由于烧结钕铁硼硬度、断裂韧性高，造成表面破损；随着切割速度增加，正压力增加金刚石磨粒压入深度大于烧结钕铁硼的脆塑性变形的临界压入深度，材料去除以破碎、塑性为主，塑性剪切为辅；在 0.75 mmmin1切割速度下，切割表面的划痕边缘为破碎和凹坑，粗糙度高。图 6为电镀金刚石线切割不同切割速度下切割微观形貌。从图 6 可以看出，烧结钕铁硼切割表面存在划痕、犁沟、破碎和凹坑。在低切割速度下，烧结钕铁硼以塑性变形去除，金刚石磨粒压入深度小于其脆塑性变相的临界压入深度，切割面以浅划痕和犁沟为主，切割质量好、粗糙度低。这是由于电镀（a）断面；（b）断面金相。（a）section；（b）section metallographic structure.图 4电火花加工断面微观形貌Figure 4Micro morphology of EDM section（a）0.15 mmmin1；（b）0.45 mmmin1；（c）0.75 mmmin1。图 5内圆锯片切割面微观形貌Figure 5Micro-morphology of cutting surface of internal saw blade575材料研究与应用 2023年 第 17 卷 第 3 期金刚线的往复运动会存在线锯切割换向，线锯对工 件会产生较大的正应力，导致金刚石磨粒的压入 深度增加，形成浅犁沟。随着切割速度增加到0.75 mmmin1，金刚石磨粒压入深度大于烧结钕铁硼脆塑性变相的临界压入深度，划痕边缘出现大量破碎和凹坑，表面粗糙度增加。图 7 为相同加工方式及不同切割速度的粗糙度。从图 7可以看出：在相同加工方式下，随着切割速度的增加，粗糙度随之增加；电火花加工的粗糙度增加最快，其原因在于低速度下材料以融化、气化、热应力去除而形成较大凹坑，但随着切割速度增加，脉冲宽度和峰值电流增加，单脉冲能量大，材料以热应力去除为主而形成了更大凹坑，导致粗糙度增加速度快；内圆锯片和电镀金刚线的粗糙度随着切割速度增加而增加，但增加速度慢，其原因在于当金刚石磨粒压入深度逐渐增大超过烧结钕铁硼脆塑性变相的临界压入深度时，破碎和凹坑深度增加，造成粗糙度增加，材料去除由塑性变形变成塑性去除，因此粗糙度变化相对较小。综上所述，内圆锯片和电镀金刚线加工的材料去除方式为塑性变形、塑性去除和脆性破裂。金刚石磨粒对烧结钕铁硼材料切削加工时，内圆锯片和电镀金刚石加工的表面材料相结构未发生变化，因此烧结钕铁硼材料的磁性能未发生变化。随着切割速度增加，内圆锯片和电镀金刚线的表面粗糙度增加，微观形貌由浅划痕、犁沟变为破碎、脆性破裂，塑性去除区域增多。粗糙度对比发现，内圆锯片与电镀金刚线的粗糙度相差在 5%10%左右。烧结钕铁硼材料经内圆锯片和电镀金刚线加工后，材料表面的粗糙度直接决定其微观形貌和外观，低切割速度下的微观形貌和粗糙度最优。考虑到不同应用领域和生产成本，选择不同的切割速度以达到所需要的表面微观形貌和粗糙度。2.4相同加工速度下不同加工方式的切割微观形貌和表面粗糙度由于电火花加工和固结金刚石磨削的加工原理不（a）0.15 mmmin1；（b）0.45 mmmin1；（c）0.75 mmmin1。图 6电镀金刚石线切割面微观形貌Figure 6Micro-morphology of cutting surface of electroplated diamond wire图 7相同加工方式不同切割速度下的粗糙度Figure 7Roughness for the same processing method and different cutting speeds576元云岗等：不同加工方式切割烧结钕铁硼磁体的表面微观形貌和粗糙度研究同，在相同的切割速度下，选择不同的加工方式会产生不同的微观形貌。当切割速度为 0.15 mmmin1时，电火花加工的微观形貌呈现凸起和凹坑状态，其熔融物质呈凝固形态，与内圆锯片和电镀金刚线相比，内圆锯片和电镀金刚线的微观相貌为浅划痕、犁沟。与低切割速度相比，当切割速度为 0.75 mmmin1时，电火花加工的微观形貌出现深凹坑和微裂纹，而内圆锯片和电镀金刚线的微观形貌为划痕边缘出现大量破碎和凹坑。图 8 为相同切割速度下不同加工方式的粗糙度。从图 8可见：在相同切割速度下，电火花加工表面粗糙度最高，原因在于材料以融化、气化、热应力去除，形成的凹坑较大，而内圆锯片和电镀金刚线去除方式为塑性变形、塑性去除，形成的凹坑浅；在0.15 mmmin1切割速度下，电镀金刚石线粗糙度低于内圆锯片的，原因在于金刚石呈规则球状，切割以面与面切削，单位应力小，金刚石压入深度小。在0.45 和 0.75 mmmin1切割速度下，内圆锯片比电镀金刚线粗糙度低，原因在于电镀金刚线的往复运动会存在线锯的切割换向，线锯对工件会产生较大的正应力，其高于锯片对材料的正应力，导致金刚石磨粒的压入深度进一步增加，粗糙度增加。3结论通过对电火花加工、内圆锯片和电镀金刚线切割烧结钕铁硼，并且对切割面的微观形貌和表面粗糙度进行分析。（1）钼丝表面光滑，直径在 0.180.2 mm，其不直接接触切割材料，而是电极之间产生的火花放电切割材料。内圆锯片表面金刚石随机分布于内圆刃口表面且无团聚现象，电镀金刚石线表面的金刚石比较均匀分布于基体线表面且存在微团聚。（2）在相同的加工方式下，随着切割速度增加，脉冲宽度和峰值电流增加，单脉冲能力高，热量大，产生的爆炸冲击力大，电火花加工表面出现深凹坑，粗糙度增加。金刚石磨粒压入深度大于烧结钕铁硼磁体脆塑性变相的临界压入深度，划痕边缘出现大量破碎和凹坑，表面粗糙度增加。（3）在相同的切割速度下，电火花加工表面粗糙度最高，原因在于材料以融化、气化、热应力去除，形成较大凹坑，而内圆锯片和电镀金刚线去除方式为塑性变形、塑性去除，形成浅凹坑，粗糙度低。（4）电火花加工时，材料表面会生成熔化凝固层和热影响区，材料后续需进一步磨削加工；内圆锯片和电镀金刚线加工时，可通过调控切割参数得到不同的微观形貌和粗糙度，以适应不同应用领域和生产成本。参考文献：1 魏成富，唐杰，杨梨容，等.烧结钕铁硼的研究与应用进展 J.稀有金属与硬质合金，2010，38（1）：47-49.2 师大伟.微量 Ti元素掺杂烧结钕铁硼相变及微观结构调控研究 J.福建冶金，2022，51（3）：20-23.3 程星华，李建，刘涛，等.晶粒尺寸对 NdFeB晶界扩散效果的影响 J.中国稀土学报，2020，38（6）：752-758.4 HU Z H，ZHU M G，LI W，et al.Effects of Nb on the coercivity and impact toughness of sintered Nd-Fe-B magnets J.Journal of Magnetism&Magnetic Materials，2008，320（3-4）：96-99.5 闫文龙，颜世宏，于敦波，等.烧结钕铁硼的发展及其应用现状 J.金属功能材料，2008，15（6）：33-37.6 陆志猛，祝锡晶，成全，等.电火花线切割加工钕铁硼材料的研究 J.材料研究与应用，2009，3（3）：172-174.图 8相同切割速度和不同加工方式的粗糙度Figure 8Roughness for the same cutting speed and different processing methods577材料研究与应用 2023年 第 17 卷 第 3 期7 李明辉.电火花加工理论基础 M.北京：国防工业出版社，19898 ARVI Kruusing，SEPPO Leppvuori，ANTTI Uusimki，et al.Micromachining of magnetic materialsJ.Sensors&Actuators：A Physical，1999，74（1-3）：45-51.9 李丽.烧结 NdFeB 永磁体材料加工方法及加工机理研究 D.青岛：山东大学，2005.10 李丽，张建华，牛宗伟，等.烧结 NdFeB 永磁体材料的加工方法 J.工具技术，2004（11）：68-70.11 MARINESCU Ioan，ROWE Brian，DIMITROV Boris，et al.Tribology of abrasive machining processesJ.Journal of Manufacturing Science and Engineering，2004，126（4）：vii-x.12 TETSUJI Saito.Production of Nd-Fe-B alloys by mechanical alloying J.Journal of the Japan Society of Powder and Powder Metallurgy，2009，45（7）：692-696.13 郁云鸥，高志.新型八工位高效内圆切片机的设计与优化 J.机床与液压，2019，47（15）：179-183.14 种宝春.内圆切片机张刀对切片质量的影响 J.电子工业专用设备，2002（3）：156-158.15 赵儒仕.内圆切片加工过程仿真与实验研究 D.长春：吉林大学，2019.16 STRUTH W F，STEFFENS K，KNIG W.Wafer slicing by internal diameter sawing J.Precision Engineering，1988，10（1）：29-34.17 李立军，李杰华，曹剑，等.烧结钕铁硼材料压痕断裂力学机理研究 J.三峡大学学报（自然科学版），2017，39（6）：90-93.18 LI Xinying，GAO Yufei，GE Peiqi，et al.The effect of cut depth and distribution for abrasives on wafer surface morphology in diamond wire sawing of PV polycrystalline silicon J.Materials Science in Semiconductor Processing，2019，91：316-326.19 谢乾.电镀金刚石线锯磨粒把持力及力学性能研究D.青岛：山东大学，2020.20 谢乾，葛培琪，孟剑峰，等.电镀金刚石线锯镀镍层力学性能及磨粒把持力研究 J.金刚石与磨料磨具工程，2020，40（1）：50-55.21 张晨政，葛培琪，陈自彬，等.电镀金刚石线锯使用性能的试验研究 J.金刚石与磨料磨具工程，2021，41（6）：74-79.Study on Surface Morphology and Roughness of Sintered Nd-Fe-B Magnets Cutting by Different Processing MethodsYUAN Yungang，CHENG Xinghua，ZHANG Xin，HUO Siyuan（Advanced Technology&Materials Co.，Ltd.，Beijing 100083，China）Abstract：Sintered Nd-Fe-B materials were cut by electrical discharge machining（EDM），electroplated diamond wire and internal saw blade，and the morphology and surface roughness of sintered NdFeB magnets cut by EDM，electroplated diamond wire and inner circular saw blade were analyzed.The micro-morphology of cutting tools，surface microscopic morphology and surface roughness of magnets with different processing methods were characterized by using SJ-410 roughness meter and JMS-6010LA scanning electron microscope.The results show that the material etching modes of EDM are melting，gasification and thermal stress.The material etching methods of EDM are melting，vaporization and thermal stress；the material removal methods of inner circular saw blade and plastic deformation.Under different processing methods and cutting speed conditions，the surface roughness of EDM was the highest，and the Ra reaching 7.5 m.At 0.15 mm min-1 cutting speed，the diamond shape of electroplated diamond wire was regular and spherical，and the cutting was face-to-face，and the roughness was smallest.At high cutting speed，the reciprocating motion of electroplated diamond wire has a reversal of the wire saw，which will produce greater normal stress on the workpiece，and the surface roughness value is higher than that of the internal saw blade.Keywords：electrical discharge machining（EDM）；electroplated diamond wire；internal circular saw blade；sintered Nd-Fe-B；micromorphology；surface roughness（学术编辑：黎小辉）578