太阳能工艺流程模板.doc

苏州阿特斯阳光电力科技年产太阳能电池片200MW建设项目
环境影响汇报书简本

一、项目简况
项目名称：苏州阿特斯阳光电力科技年产太阳能电池片200MW建设项目
建设单位：苏州阿特斯阳光电力科技
建设规模：年产太阳能电池片200MW
建设性质：外商独资扩建
建设地点：江苏省苏州高新区鹿山路199号厂区二期厂房预留车间内（一楼）
投资总额9980万美元
占地面积：总占地66660m2（本项目车间5000m2），总绿化面积19205m2（不变）
二、现有项目情况
1、现有建设项目主体工程及产品方案
现有建设项目主体工程及产品方案
序号
工程名称（车间、生产装置或生产线）
产品名称及规格
设计能力
年运行时数
1
太阳能电池片多晶硅有铬生产线
（6条线）
太阳能电池片
100MW/a
4800
2
太阳能电池片单晶硅无铬生产线
（4条线）
太阳能电池片
100MW/a
3
太阳能电池组件组装线（6条线）
太阳能电池组件
100MW/a
（6条线）
*现有一期项目申报并经过审批100MW/a太阳能电池组件组装项目现在还未建设、生产，并将取消该项目，以后也不再建设、生产；
2、现有项目公用配套工程
现有项目公用配套工程一览表
项目
建设名称
设计能力
备注
贮运工程
原料等
由供给商负责送货
汽车（8t/d）
产品
由本单位用专车辆负责送货
汽车（5t/d）
公用
工程
给水、排水、供热、供汽、供气、供电、绿化等
输送最大管径25cm
雨污分流
变压器最大输送500KVA
由高新区统一供水
1200万度/年
由高新区统一供电
绿化23685平方米
厂房施工时实施
环境保护工程
废气处理
酸碱雾洗涤塔
4套（4个15米排气筒）
一期项目已建设实施（8个排气筒）
硅烷燃烧塔
3套（3个15米排气筒）
活性炭吸附塔
1套（1个15米排气筒）
酸碱废气洗涤塔处理系统1套（1个25米排气筒）
二期扩建项目已建设实施（5个排气筒）
铬酸雾废气洗涤+塔处理系统1套（1个25米排气筒）
有机废气活性炭吸附系统1套（1个20米排气筒）
硅烷燃烧塔1套（1个20米排气筒）
多孔碳酸钙+活性炭吸附塔1套（1个25米排气筒）
制纯水设施
膜过滤纯水设施
（设计规模100t/h）
一期项目已建设实施
膜过滤制纯水设施
（设计规模200t/h）
二期扩建项目已建设实施
废水处理
酸碱废水处理+混凝沉淀系统（设计规模100t/h）
一期项目已建设实施
酸性废水处理+混凝沉淀系统（设计规模200t/h）
二期扩建项目已建设实施
含氢氟酸废水处理设施
（设计规模50t/h）
含铬酸废水处理设施
（设计规模50t/h）
废水（尾水）后续处理系统
（设计规模200t/h）
固废处理
零排放
有资质单位回收处理不产生二次污染
危废临时贮存场所
50㎡
一、二期项目共建实施
通常工业固废贮存场所
50㎡
成品仓库
100㎡
通常原料仓库
100㎡
气罐区
30㎡
危险品仓库
100㎡
噪声
隔音设施、合理布局、厂界绿化隔音
已实施
辅助工程
办公
建筑面积1174m2
已实施
用餐地点
面积100m2
门卫室
1个
依靠工程
苏州新区第二污水处理厂
设计日处理8万吨/天，一期4万吨/天，运行稳定
3、现有（一期）项目生产工艺步骤简述及产污步骤
（1）一期项目工艺步骤

硅片腐蚀（制绒）、制纯水废水579.62
清损耗 6.262
洗96.3

自来水
硅片甩干
硅片扩散
去硅玻璃
硅片甩干
加减反射膜
硅片后面印刷银铝浆
W3 清排水
烘干
硅片后面印刷铝浆
烘干
硅片正面印刷银浆
烧结
刻蚀
太阳能电池片
纯水、N2
POCl3、N2、O2
纯水、HF
纯水、N2
SiH4、NH3、N2
银铝浆
铝浆
银浆
CF4、O2
G1 HCl、HF、H2、异丙醇
W1含 HF、HCl废水；
W2含NaOH废水
S1 含碱、异丙醇废液
W3 清排水
W5 清排水
G2 Cl2、P2O5
G4 HF、SiF4
W4含 HF废水
G5 NH3、SiH4
S2 少许废铝浆
G6 少许有机物
S3 少许废铝浆
G7 少许有机物
S4 少许废银浆
G8 有机物
G3 CF4、SiF4

NaOH、异丙醇、HCl、HF、纯水
委外加工单晶硅片
（单晶电池片）

现有项目生产工艺步骤图（一期项目）
一期项目关键工序步骤简述：
1.硅片腐蚀(制绒)、清洗:
P型单晶硅薄片，经碱腐蚀清洗烘干，制绒关键是使用碱性溶液腐蚀硅表面形成绒面。清洗关键是处理制绒后硅片表面，使其净化，用氢氟酸清洗残留碱性物质，接着用盐酸去除表面残留物质，最终再用纯水清洗。此过程有废气产生，废气中含有HCl、HF、H2；此工序还有碱性废水、酸性废水产生，碱性废水中关键含有氢氧化钠，酸性废水中关键含盐酸、氢氟酸；另外在碱腐蚀过程还会有碱性废液产生，其中含有较高浓度异丙醇。
碱腐蚀反应方程式为：2NaOH+Si+H2O=NaSiO3+2H2
2.硅片扩散：
硅片扩散也称磷扩散，是在氧气存在条件下，磷源分解在硅中扩散而形成P-N结，POCl3为电子级纯度，在过程中所起作用是为扩散提供磷源，各反应化学式以下：
5POCl3=3PCl5+P2O5
2P2O5+O2+6Si=4P+6SiO2
4PCl5+5O2=2P2O5+10Cl2
4POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2
所以硅片扩散工序,有废气产生，该废气成份有P2O5、Cl2等。
3.刻蚀：
关键是去除边缘N型硅，此工序为干法刻蚀，关键是利用四氟化碳和硅和氧气反应来去除边缘硅，其化学反应式为：
CF4+Si+O2=SiF4↑+CO2↑
所以此工序有未反应完全四氟化碳和反应生成四氟化硅气体逸出。
4.去硅玻璃（PSG）：
关键是用氢氟酸腐蚀硅片表面氧化层，即清除硅片表面SiO2层，反应生成为微量SiF4和[H2SiF6]2-少许络合物，其一起进入酸性废水处理。所以此工序会有少许氢氟酸和四氟化硅挥发。
5.加减反射膜：
利用硅烷、氨气之间反应在硅片表面形成一层加减反射膜，N2不发生反应，作为保护气体，此工序会有少许氨气和硅烷挥发。
6.丝网印刷(即在硅片上印刷铝浆、银浆、银铝浆)：
使用浆料印刷电极，使之形成良好接触,搜集电流。关键是使用银浆，铝浆，银铝浆，通常由金属粉末和有机溶剂和固体树脂组成，经过烧结后有机溶剂和固体树脂全部被挥发，剩下金属和硅形成合金层。
7．烧结
烧结工序关键是将印刷好银浆、铝浆、银铝浆电极放入烧结炉中，使浆料中水分、树脂及一些有机物挥发出来。
烧结自然冷却后即为成品单晶硅太阳能电池片。
（2）二期扩建项目工艺步骤

（多晶电池片）
G10有机物
太阳能电池片
G3 Cl2
G4P2O5
委外加工多晶硅片
G1铬酸雾、HF
G2 HCl、HF、异丙醇
W1含铬、HF废水
W2 HF、HCl废水
S1 含铬、异丙醇废液
三氧化铬、HF、纯水
异丙醇、HCl
烧结
S4 少许废银浆
银浆
G9少许有机物
S3 少许废铝浆
铝浆
G8 少许有机物
S2 少许废铝银浆
银铝浆
G7 NH3、SiH4
SiH4、NH3、N2
W5 清排水
纯水、N2
G6 HF、SiF4
W4含 HF废水
纯水、HF
G5 CF4、SiF4
CF4、O2
POCl3、N2、O2
W3 清排水
纯水、N2
硅片正面印刷银浆
烘干
硅片后面印刷铝浆
烘干
硅片后面印刷银铝浆
加减反射膜
硅片甩干
去硅玻璃
硅片扩散
刻蚀
硅片甩干
硅片腐蚀（制绒）清洗

二期扩建项目关键工序步骤简述
1.硅片腐蚀(制绒)、清洗：
二期扩建项目使用原材料为P型多晶硅薄片，使用碱腐蚀已无法满足产品质量需求，所以本扩建项目使用铬酸腐蚀硅表面形成绒面（使用浓度约在1.25%）。清洗关键是处理制绒后硅片表面，使其净化，用氢氟酸清洗残留碱性物质，接着用盐酸去除表面残留物质，最终再用纯水清洗。此过程有废气产生，废气中含有铬酸雾、HCl、HF、H2；此工序还有含铬废水、含氟废水、酸性废水产生，同时产生一定废液，其中含有较高浓度异丙醇。
2.硅片扩散：
硅片扩散也称磷扩散，是在氧气存在条件下，磷源分解在硅中扩散而形成P-N结，POCl3为电子级纯度，在过程中所起作用是为扩散提供磷源，各反应化学式以下：
5POCl3=3PCl5+P2O5
2P2O5+O2+6Si=4P+6SiO2
4PCl5+5O2=2P2O5+10Cl2
4POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2
所以硅片扩散工序,有废气产生，该废气成份有P2O5、Cl2等。
3.刻蚀：
关键是去除边缘N型硅，此工序为干法刻蚀，关键是利用四氟化碳和硅和氧气反应来去除边缘硅，其化学反应式为：
CF4+Si+O2=SiF4↑+CO2↑
所以此工序有未反应完全四氟化碳和反应生成四氟化硅气体逸出。
4.去硅玻璃（PSG）：
关键是用氢氟酸腐蚀硅片表面氧化层，即清除硅片表面SiO2层，反应生成为为微量SiF4和[H2SiF6]2-少许络合物，其一起进入酸性废水处理。所以此工序会有少许氢氟酸和四氟化硅挥发。
5.加减反射膜：
利用硅烷、氨气之间反应在硅片表面形成一层加减反射膜，N2不发生反应，作为保护气体，此工序会有少许氨气和硅烷挥发。
6.丝网印刷(即在硅片上印刷铝浆、银浆、银铝浆)：
使用浆料印刷电极，使之形成良好接触,搜集电流。关键是使用银浆，铝浆，银铝浆，通常由金属粉末和有机溶剂和固体树脂组成，经过烧结后有机溶剂和固体树脂全部被挥发，剩下金属和硅形成合金层。
7．烧结
烧结工序关键是将印刷好银浆、铝浆、银铝浆电极放入烧结炉中，使浆料中水分、树脂及一些有机物挥发出来。
烧结自然冷却后即为成品单晶硅太阳能电池片。
4、现有项目污染物排放“三本帐”
现有项目污染物“三本帐”一览表（一期+二期）
类别
项目
一期（已建）
二期（在建）
企业现在
排放总量t/a
核准总量t/a
排放总量t/a
核准总量t/a
排放总量t/a
核准总量t/a
废气
铬酸雾
0
0
0.012
0.012
0.012
0.012
氟化物（F）
0.064*
0.407
0.407
0.407
0.471*
0.471
HCl
0.36
0.36
0.36
0.36
0.72
0.72
异丙醇
0.04*
0.2
0.2
0.2
0.204*
0.204
Cl2
0.115
0.115
0115
0115
0.23
0.23
P2O5
0.293
0.293
0.293
0.293
0.586
0.586
NH3
0.715
0.715
0.571
0.571
1.43
1.43
SiH4
0
0.0042
0.0042
0.0042
0.0042
0.0042
TVOC
0.691
0.691
0.691
0.691
1.382
1.382
废水
废水量
34.86万
34.86万
19.30278万
19.30278万
54.16278万
54.16278万
COD
36.52
36.52
26.523
26.523
63.043
63.043
SS
11.84
11.84
11.15
11.15
22.99
22.99
NH3-N
0.54
0.54
0.81
0.81
1.35
1.35
TP
0.108
0.108
0.163
0.163
0.27
0.27
氟化物
1.29
1.29
0.499
0.499
1.789
1.789
六价铬
0
0
0.03
0.03
0.03
0.03
总铬
0
0
0.06
0.06
0.06
0.06
固废
危险固废
0
0
0
0
0
0
通常工业固废
0
0
0
0
0
0
生活垃圾
0
0
0
0
0
0
*氟化物、异丙醇因为在一期项目“三同时”验收时未检出，所以根据检出限二分之一计算其排放量；
5、现有项目环境保护验收情况
1、现有苏州阿特斯阳光电力科技年产太阳能电池片100MW、太阳能电池组建100MW新建项目（一期项目）已于经过苏州市环境保护局环境保护“三同时”完工验收（见苏环验【】184号）。
2、苏州阿特斯阳光电力科技年产太阳能电池片100MW二期扩建项目现在正在进行试生产。依据企业介绍及现场勘查情况，现在该项目各项环境保护治理方法已全部到位，现已委托进行验收监测。
3、在该试生产期间，建设单位中水回用水量达成60t/h，已满足环评批复（苏环建【】415号）要求60%中水回用率。
4、现有一期项目在后续生产过程中将4条无铬生产线中1条改变至有铬生产线，在后续二期扩建过程中已将6条有铬生产线中1条改变至无铬生产线，建设单位从而已满足环境保护主管部门环评批复对建设单位生产线设置要求。
6、现有项目关键存在环境保护问题
a. 未根据《江苏省排污口设置及规范整改管理措施》（苏环控【1997】122号）要求规范排污口标志牌；
b. 需深入完善事故应急预案和应急方法；
三、本项目工程分析
1、本项目主体工程及产品方案
建设项目（技改、扩建项目）主体工程及产品方案
序号
工程名称（车间、生产装置或生产线）
产品名称
及规格
设计能力
年运行时数
扩建前
扩建后
增量
1
太阳能电池片多晶硅有铬生产线
（6条线）
太阳能电池片
100MW/a
（6条线）
260MW/a（10条线）
160MW/a
（4条线）
4800

太阳能电池片单晶硅无铬生产线
（4条线）
太阳能电池片
100MW/a
（4条线）
100MW/a
（4条线）
0
4800
2
太阳能电池片多晶硅无铬生产线（4条线）
太阳能电池片
0
40MW/a
（1条线）
40MW/a（1条线）
4800
2、本项目公用配套工程
本项目公用配套工程一览表
项目
建设名称
设计能力
备注
贮运工程
原料等
由供给商负责送货
按实际情况贮运
产品
由本单位用专车辆负责送货
公用
工程
排水
雨污分流
厂房建设实施
给水
输送最大管径25cm
由高新区统一供水
供电
变压器最大输送500KVA
由高新区统一供电
绿化
不变
厂房施工时已实施
纯水设施
膜过滤
（设计规模200t/h）
依靠二期扩建项目设施
含N废水膜过滤纯水设施1套（100t/d）
新建，委托专门单位设计施工“三同时”实施
含P废水膜过滤纯水设施1套(10t/d)
环境保护、辅助工程
废气处理
酸碱废气洗涤塔处理系统1套
新建，委托专门单位设计施工“三同时”实施
铬酸雾废气洗涤塔处理系统1套
有机废气活性炭吸附系统1套
硅烷燃烧塔1套
含N废气洗涤塔1套
含P废气洗涤塔1套
废水处理
酸碱废水处理+混凝沉淀系统1套（设计规模200t/h）
依靠一、二期扩建项目设施
含氢氟酸废水处理设施1套
（设计规模50t/h）
含铬酸废水处理设施1套
（设计规模50t/h）
废水（尾水）深度处理系统1套（设计规模200t/h）
含磷废水处理系统（10t/d）
新建，委托专门单位设计施工“三同时”实施
含氮废水处理系统（100t/d）
噪声治理
噪音隔音设施、合理布局、厂界绿化隔音
新建，“三同时”实施
固废处理
零排放
由资质单位回收处理不产生二次污染
危废临时贮存场所
50㎡
依靠一、二期项目已建设施
通常工业固废贮存场所
50㎡
成品仓库
100㎡
通常原料仓库
100㎡
气罐区
30㎡
危险品仓库
100㎡
办公
建筑面积1174m2
用餐地点
面积100m2
门卫室
1个
废水事故及消防应急共用池
4000m31个
依靠工程
苏州新区第二污水处理厂
设计日处理8万吨/天，一期4万吨/天，运行稳定
3、本项目生产工艺步骤及简述
（1）含铬多晶硅生产工艺步骤

W3清排水
W4 含磷废水

G6 CF4、SiF4
S3 含CF4废液

G7 HF、SiF4
W5 含HF废水
太阳能电池片
洗涤塔1
纯含P废水2
水回用

循环量240
纯水设备
纯0.352
水1321.564

苏制纯水废水579.62
州损耗 6制纯水废水579.62
.损耗 6.262

96.3
G1铬酸雾
G2 HCl
G3 HF
W1含铬、HF、HCl废水
S1 含盐酸、氢氟酸、铬酸废液
三氧化铬、HF、HCl、纯水
（多晶电池片）
G11 有机物
G4 Cl2
G5 P2O5
委外加工多晶硅片
烧结
S6 少许废银浆
银浆
G10 少许有机物
S5 少许废铝浆
铝浆
G9 少许有机物
S4 少许废铝银浆
银铝浆
G8 NH3、SiH4
SiH4、NH3、N2
W6 清排水
纯水、N2
HF、纯水
CF4、O2
POCl3、N2、O2
W2 清排水
纯水、N2
硅片正面印刷银浆
烘干
硅片后面印刷铝浆
烘干
硅片后面印刷银铝浆
加减反射膜
硅片甩干
去硅玻璃
硅片扩散
刻蚀
硅片甩干
硅片腐蚀（制绒）清洗

本项目有铬生产工艺步骤图
简述：
因为本项目有铬生产线在工艺、设备上基础和现有项目同相，只有在原辅料上不在使用异丙醇（经工艺探索可不用该异丙醇，不会影响产品品质），所以本项目有铬生产线工艺简述可见本汇报书现有项目有铬生产线工艺简述。
（2）无铬多晶硅生产工艺步骤

G5 酸雾（NOx）、HF、硫酸雾、SiF4
W6 含（N）、HF酸性废水
W7 碱性废水
G6 HF
W7 酸性（HF）废水
空气
1、HNO3、HF、H2SO4、纯水
2、KOH、纯水
3、HF、纯水
去硅玻璃
S2 含磷废液
W5 含磷废水
纯水
、HF
W4 清排水
G1 酸雾（NOx）、HF
G2 HCl、HF
W1含（N）、HF废水
W2 碱性废水
W3 含酸（HF、HCl）废水
S1 含硝酸、氢氟酸、盐酸废液
纯水
空气
1、HNO3、HF、纯水
2、KOH、纯水
3、HF、HCl、纯水
（多晶电池片）
G10有机物
太阳能电池片
G3 Cl2
G4 P2O5
委外加工多晶硅片
烧结
S5 少许废银浆
银浆
G9少许有机物
S4 少许废铝浆
铝浆
G8 少许有机物
S3 少许废铝银浆
银铝浆
G7 NH3、SiH4
SiH4、NH3、N2
POCl3、N2、O2
硅片正面印刷银浆
烘干
硅片后面印刷铝浆
烘干
硅片后面印刷银铝浆
加减反射膜
干燥
硅片扩散
干燥
硅片腐蚀（制绒）清洗

本项目无铬生产工艺步骤图
简述：
本工艺为无铬多晶硅工艺，是现在较优异工艺，无重金属污染问题，具体以下：
1.硅片腐蚀(制绒)、清洗：
本项目使用原材料为P（硅片类型）型多晶硅薄片，使用硝酸、氢氟酸、盐酸混合酸（按一定百分比配比）腐蚀硅表面形成绒面。喷淋清洗处理制绒后硅片表面，使其净化；然后再用氢氧化钾（浓度65%）腐蚀并喷淋清洗，接着用氢氟酸、盐酸混合酸（按一定百分比配比）去除表面残留物质，最终再用纯水喷淋清洗。此过程有废气产生，废气中含有氮氧化物、硫酸雾、HCl、HF、H2；此工序还有含N废水、含氟废水、酸性废水产生，同时产生一定废液。经以上清洗后进行空气干燥。
2.硅片扩散：
硅片扩散也称磷扩散，是在氧气存在条件下，磷源分解在硅中扩散而形成P-N结，POCl3为电子级纯度，在过程中所起作用是为扩散提供磷源，各反应化学式以下：
5POCl3=3PCl5+P2O5
2P2O5+O2+6Si=4P+6SiO2
4PCl5+5O2=2P2O5+10Cl2
4POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2
所以硅片扩散工序,有废气产生，该废气成份有P2O5、Cl2等。
3.去硅玻璃：
本工艺分为三段腐蚀，先用硝酸、氢氟酸、硫酸混合酸（按一定百分比配比）腐蚀硅片表面氧化层，再用纯水喷淋清洗，再用氢氧化钾（浓度45%）腐蚀后纯水喷淋清洗，最终用氢氟酸、硫酸混合酸（按一定百分比配比）腐蚀后纯水喷淋清洗，以上工序为清除硅片表面SiO2层，反应生成为为微量SiF4和[H2SiF6]2-少许络合物，以上清洗废水分别进入含N废水处理设施处理及酸碱废水处理设施处理。所以此工序会有少许氮氧化物、硫酸雾、HCl、HF和四氟化硅挥发。
5.加减反射膜：
利用硅烷、氨气之间反应在硅片表面形成一层加减反射膜，N2不发生反应，作为保护气体，此工序会有少许氨气和硅烷挥发。
6.丝网印刷(即在硅片上印刷铝浆、银浆、银铝浆)：
使用浆料印刷电极，使之形成良好接触,搜集电流。关键是使用银浆，铝浆，银铝浆，通常由金属粉末和有机溶剂和固体树脂组成，经过烧结后有机溶剂和固体树脂全部被挥发，剩下金属和硅形成合金层。
7．烧结
烧结工序关键是将印刷好银浆、铝浆、银铝浆电极放入烧结炉中，使浆料中水分、树脂及一些有机物挥发出来。
烧结自然冷却后即为成品单晶硅太阳能电池片。
4、资源及能源消耗
本项目原辅材料及能源
序号
原辅料名称
年耗量
1
原料
硅片（Si）
900t（约7200万片）
2
辅料
氮气(99.99%)
690t（约85万m3）
3
硅烷(99.999%)
2800kg
4
氨气(99.999%)
2040kg
5
CF4(99.999%)
6.048t（约3760m3）
6
氧气(99.99%)
142.856t(约12.5万m3）
7
三氯氧磷（99%）
3.92t（约2333m3）
8
银浆
4200kg
9
铝浆
54000kg
10
银铝浆
4200kg
11
盐酸（36%）
134.568t
12
氢氟酸（40%分析纯）
449.1488t
13
三氧化铬（99.5%）
91.2t
14
硝酸（65%分析纯）
365.04t
15
氢氧化钾（45%分析纯）
30.12t
16
硫酸（98%工业级）
2.52t
17
水处理药剂
聚合氯化铝（工业级、固体）
25吨
18
高分子混凝剂（工业级、固体）
0.3吨
19
氢氧化钠(90%工业级、固体)
16吨
19
CaCl2(70%工业级)
13吨
20
能源
水
26.37万
21
电
1200万度
5、关键生产设备、公用及贮运设备
本项目关键设备表
序
号
设备名称
规格（型号）
数量
备注
1
生产设备
有铬线
扩散前清洗机
/
8台
新增
2
扩散炉
/
4台
3
扩散后清洗机
/
4台
4
PECVD镀膜机
SLPC-71HR4
4台
5
等离子刻蚀机
M42200
16台
6
丝网印刷机
J1762CLD/CUL
4台
7
烧结炉
PVD-600
4台
8
甩干机
/
8台
9
无铬线
扩散前清洗机
/
1台
10
扩散炉
/
1台
11
扩散后清洗机
/
1台
12
PECVD镀膜机
/
1台
13
丝网印刷机
/
1台
14
烧结炉
/
1台
15
辅助设备
冷冻机
/
2台
新增
16
空压机
/
6台
17
组合式空调净化系统
0-20T
4套
18
通风系统（风机）
4套为备用
48套
19
水泵
/
10台
20
氮气、氧气储罐
氧气20m3
1个
依靠
21
氮气20m3
1个
22
膜过滤制纯水设施
设计能力200t/h
1套
23
含N废水膜过滤纯水设施
100t/d
1套
新增
24
含P废水膜过滤纯水设施
10t/d
1套
26
环境保护设备
酸性废水处理+混凝沉淀系统
设计能力200t/h
1套
依靠
27
含氢氟酸废水处理设施
设计能力50t/h
1套
28
含铬酸废水处理设施
设计能力50t/h
1套
29
废水（尾水）深度处理系统（中水回用）
设计能力200t/h
1套
30
含N废水处理系统（回用）
100t/d
1套
新建
31
含P废水处理系统（回用）
10t/d
1套
32
含铬酸雾废气洗涤塔处理系统
设计风量70000m3/h
1套
新建
33
酸性废气洗涤塔处理系统
设计风量70000m3/h
1套
34
含N废气洗涤塔
设计风量70000m3/h
1套
35
含P废气洗涤塔
设计风量70000m3/h
1套
36
有机废气活性炭纤维吸附系统
风量40000m3/h
1套
37
硅烷燃烧
风量6400m3/h
1套
38
噪音隔音设施
/
4套
6、污染源强及污染物排放量分析
（1）本项目标废气产生情况
本项目废气产生情况一览表
废气类别
排气筒编号
关键污染因子
产生步骤
防治方法
有组织排放废气
工艺废气
G14
铬酸雾
有铬线腐蚀（制绒）
铬酸雾洗涤+高空集中25m高排气筒排放
G15
氟化物、HCl、Cl2、CF4、SiF4、硫酸雾
腐蚀（制绒）、硅片扩散、去硅玻璃
洗涤塔+高空集中25m高
排气筒排放
G16
P2O5
硅片扩散
洗涤塔+高空集中25m高
排气筒排放
G17
NOx
无铬线腐蚀（制绒）、去硅玻璃
洗涤塔+高空集中25m高
排气筒排放
G18
SiH4、NH3
加减反射膜
硅烷燃烧+高空集中25m高排气筒排放
G19
挥发性有机废气（TVOC）
印刷、烘干
活性炭纤维+高空集中25m高排气筒排放
无组织排放废气
-
铬酸雾、氟化物、硫酸雾、HCl、Cl2、P2O5、NH3、SiH4、TVOC等
未搜集废气及化学品仓库
无组织排放
本项目废气产生排放情况一览表
废气类型
废气量
m3/h
污染因子
产生浓度
（mg/m3）
产生速率
（kg/h）
处理方案
处理效率
排放浓度
（mg/m3）
排放速率
（kg/h）
工艺废气
G14
70000
铬酸雾
0.12
0.008
铬酸雾洗涤塔
90%
0.012
0.0008
工艺废气
G5
70000
氟化物
25.5
1.7857
洗涤塔
98.6%
0.357
0.025
HCl
7.59
0.5313
80%
3.12
0.10626
硫酸雾
0.4
0.028
60%
0.16
0.0112
Cl2
1.2
0.084
40%
0.72
0.0504
工艺废气
G16
70000
P2O5
2.466
0.1726
洗涤塔
40%
1.48
0.10356
工艺废气
G17
70000
NOx
12.738
0.892
洗涤塔
80%
5.095
0.1784
工艺废气G18
40000
NH3
78.62
3.1448
硅烷燃烧
95%
7.862
0.15724
SiH4
0.9208
0.0368
95%
0.046
0.00184
有机废气G19
6400
TVOC
461.8
2.955
活性炭纤维
90%
46.18
0.2955
废气类型
废气量
m3/h
污染因子
产生量（t/a）
处理方案
处理效率
排放量（t/a）
无组织排放废气（车间+化学品库）
-
铬酸雾
0.0002
-
-
0.0002
氟化物
0.006
0.006
HCl
0.026
0.026
硫酸雾
0.0028
0.0028
NOx
0.0045
0.0045
P2O5
0.0026
0.0026
Cl2
0.012
0.012
NH3
0.039
0.039
SiH4
0.00046
0.00046
TVOC
0.074
0.074
注：车间有机废气未搜集排放量以5%计；化学品原料仓库挥发量按万分之一计；
（2）本项目标废谁产生情况
本项目废水产生情况一览表(t/a)
编号
名称
产生量
pH
CODCr
mg/l
SS
mg/l
NH3-N
mg/l
TP
mg/l
F
mg/l
六价铬mg/l
W1
含铬废水
80096
3-5
100
250
/
/
/
50
W2
含氟废水
120245
3-5
50
250
/
/
150
/
W3
含N废水
18882
3-5
100
50
500
/
100
/
W4
含P废水
2046
3-5
100
50
/
300
/
/
W5
酸碱废水
104987
2-14
100
70
/
/
/
/
W6
生活污水
1
6-9
400
200
20
4
/
/
W7
工艺甩干水、制纯水废水（清下水）
326364
6-9
＜40
＜30
/
/
/
/
废水总排口排放指标表(t/a)
编号
名称
排放量
pH
CODCr
mg/l
SS
mg/l
NH3-N
mg/l
TP
mg/l
F
mg/l
六价铬mg/l
总铬mg/l
1
工业废水
125222.4
6-9
68
20
/
/
3
0.13
0.26
2
生活污水
1
直接排入市政污水管网
2
清下水
326364
入清下水管网
（3）固废
本项目固体废弃物产生情况一览表t/a
名称
产生量
类别
危废编号
废银浆、废铝浆、废银铝浆
0.17
危险废物
（HW42）
废酸液
877.429644
危险废物
（HW34）
含铬废液
115.78352
危险废物
（HW21/42）
废碱液
15.256
危险废物
（HW35）
含铬废水处理污泥（饼）
64
危险废物
（HW21）
废活性炭纤维
4
危险废物
（HW42）
含氮浓水
3776.4
危险废物
（HW34）
总混合废水处理污泥（饼）
576
通常废物
99
废制纯水膜
3.2
通常废物
99
废包装材料
8
通常废物
99
生活垃圾
150
通常废物
99
危险废物委托有资质单位进行回收处理，通常工业废物由专门单位回收处理，生活垃圾则委托新区环境卫生管理部门妥善处理。
（4）噪音
本项目关键噪声源源强表
编号
噪声源名称
源强dB (A)
数量
声源所在位置
1
PECVD镀膜机
75～85
5
车间内
2
清洗机
75～80
14
车间内
3
冷冻机
75～80
2
车间内
4
水处理设施泵
75～85
10
车间外
5
风机
75～85
48
车间外
为降低噪声污染，企业将经过选择低噪声设备，采取一系列噪声污染控制方法等方法来降低噪音。如为高噪声设备配置隔声罩，厂界墙体、绿化隔音，厂界噪声能够达成《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-）3类标准要求。
7、本项目实施后污染物“三本帐”
本项目实施后污染物 “三本帐”
污染物种类
污染物名称
现有项目排放量t/a
本项目
“以新带老”消减量*t/a
排放总量t/a
排放增减量t/a
产生量t/a
削减量t/a
排放量t/a
废气
铬酸雾
0.012
0.0384
0.03456
0.00384
0
0.01584
0.00384
氟化物
0.471*
8.571
8.451
0.12
0
0.591
0.12
HCl
0.72
2.55
2.04
0.51
0
1.23
0.51
异丙醇
0.204*
0
0
0
0
0.204*
0
硫酸雾
0
0.134
0.07664
0.05376
0
0.05376
0.05376
Cl2
0.23
0.4032
0.16128
0.24192
0
0.47192
0.24192
P2O5
0.586
0.828
0.331
0.497
0
1.083
0.497
NOx
0
4.2816
3.4256
0.856
0
0.856
0.856
NH3
1.43
15.095
14.34
0.755
0
2.185
0.755
SiH4
0.0042
0.1766
0.1678
0.0088
0
0.013
0.0088
TVOC
1.382
14.376
12.9384
1.4376
0
2.8196
1.4376
废水
废水量
54.16278
33.8256
20.10336
13.72224
14.4
53.48503
-6.7775
CODcr
63.043
31.41335
18.09835
13.315
14.4
61.958
-1.085
SS
22.99
61.4319
56.5279
4.904
4.32
23.574
0.584
NH3-N
1.35
9.681
9.441
0.24
0.144
1.446
0.096
TP
0.27
0.6618
0.6138
0.048
0.0432
0.2748
0.0048
F
1.789
19.92495
19.54895
0.376
0.432
1.733
-0.056
总铬
0.06
0
-0.016
0.032
0.0288
0.0632
0.0032
六价铬
0.03
4.0048
3.9888
0.016
0.0144
0.0316
0.0016
固体废弃物
危险废物
0
4853.04
4853.04
0
0
0
0
通常固废
0
587.2
587.2
0
0
0
0
生活垃圾
0
150
150
0
0
0
0
*氟化物、异丙醇因为在一期项目“三同时”验收时未检出，所以根据检出限二分之一计算其排放量；废水“以新带老”消减量中各污染物浓度在一期项目验收监测数据基础上核实；
8、环境保护方法投资
环境保护方