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单靶镀膜工艺操作规范

1. 适用范围
2. 本规程要求了单靶镀膜操作技术要求和操作步骤。
3. 技术要求
2.1铝靶直径≥60mm；
2.2压缩空气压强应达成0.4～0.6Mpa；
2.3镀膜操作室室温小于35℃，相对湿度小于70%RH；
2.4镀室内清洁，无灰尘、异物。
4. 操作步骤
3.1工作准备
3.1.1打开压缩空气阀门，检验空气压强是否达成0.4～0.6Mpa。
3.1.2打开冷却循环水阀门，同时检验通水情况是否良好，各水管接头和阀门有
无泄漏。
3.1.3检验氩气、氮气两种气体联接情况，看接头是否有泄漏,分别打开氩气、氮气总阀。
3.2开机
3.2.1开启本机电源。
3.2.2将机箱控制面板上电源开关置于“开”位置，手动状态下，打开“机械泵”，延时1分钟后，压差阀自动打开，按下“前级阀”按钮，当电离计显示数值低于8Pa时，开“机械泵扩散泵”，扩散泵加热。扩散泵加热温度超出160℃后，方可进行正常操作。
3.2.3缓慢调整氩气、氮气减压阀，得氩气、氮气低压表读数控制在0.1-0.2MPa之间。
3.2.4打开质量流量计显示器电源开关。
3.2.5打开计算机电源，输入工艺卡片中要求工艺参数。
3.2.6打至 “放气”按钮，放完气后打到“停”，然后打开镀室门。
3.3装管
3.3.1打开转架电源开关，将合格内管插入转架插杆。装管时，预先戴好一次性手套，外层再戴上洁净细纱手套，戴好以后不许触摸其它物品，如门、车把、桌椅等。
3.3.2玻璃管全部插满插杆后，观察每支管子自转状态，确定玻璃管间无碰撞后，关闭转架电源开关，关闭镀室门。
3.4粗抽真空
将“前级”拨到“停”拨到“粗抽”系统进入“粗抽”，复累计开始显示读数。
3.5精抽真空
当复累计显示值小于8Pa时，将按钮由“粗抽”拨到 “停”然后到“前级”再到“高阀”。
3.6溅射镀膜
3.6.1当高真空达成工艺设定（复累计显示值）后，将按钮达成“光栏”按下“氩气”开关将质量流量计达成“自动”“阀控”。开始进氩气。
3.6.2打开转架旋转电源开关、慢慢调至80±10V。
3.6.3当电离计显示到工艺压强时，打开靶电源，调整电流旋钮至要求电流值。直到电压达成400V，按下“运行”开始镀膜。
3.6.4当镀膜机处于溅射工作状态时，操作工随时观察设备运行状态，注意各仪器仪表显示数值改变，严格按要求填写《镀膜操作统计》。
3.7装配支架
3.7.1装填支架前，检验支架清洗是否洁净，焊接是否牢靠。
3.7.2支架装填到外管圆头部，装填时应避免划伤外管内壁。装填支架必需使用专用工具并配戴一次性手套，不得用手直接接触支架以免造成污染。
3.8终止溅射镀膜
计算机程序运行到1秒后，实施以下操作：
当镀室内真空度达成9.0×10-2Pa以上后，将“高阀”关闭，达成“前级”状态，将按钮达成“放气”放完气后达成“停”
3.9出管
3.9.1取管：手握已镀膜管下部垂直往上提，使管口脱离转架轴，将镀膜管移出镀
室。
3.9.2内外管装配：手握已镀膜内管，管口向上，管身竖直放入外管中；放入时应注意避免内管圆头划伤外管内壁，使其轻缓下落，直至接触到支架。内管装入外管后，按住内管端口往下轻压，使支架包住圆头。
3.10连续工作时反复3.3～3.9操作步骤。
3.11产品经自检合格后，由操作工在内管管口部位印上工号，转下工序。
3.12 关机
当镀膜机要停止工作时，实施以下机程序：
3.12.1在镀膜机停止工作前，先关镀室门，打开 “粗抽”按钮，将镀室真空度抽到8Pa以下。
3.12.2然后将“粗抽”拨到“停”拨到“前级”，将按钮“机械泵扩散泵”拨到“机械泵”，冷却（60℃以后）关掉“前级”关掉“机械泵”。
3.12.3关两气总阀（高压、低压）。
3.12.4关循环水，关电源总开关。
3.12.5若设备关机后长久停放，则需放净水套及盘管内循环水，并用高压空气吹干。
4. 质量标准
整体膜色均匀，管口无显著变浅区，膜层无划伤、无脱落；内外管及卡子装配到位。
5. 检验方法
目测