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硅片多晶硅切割基本工艺及作业流程.doc

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资源描述

1、Xinyu College毕业设计(论文)( 届)题 目 硅片(多晶硅)切割工艺及流程 学 号 姓 名 肖吉荣 所 属 系 太阳能科学与工程系 专 业 光伏材料加工与应用技术 班 级 08光伏(8)班 指引教师 陈勇 新余高等专科学校教务处制硅片(多晶硅)切割工艺及流程摘要随着能源短缺和环境污染等问题日益加剧,运用可再生、无污染能源已成为当代社会一种趋势,太阳能开发与运用越来越被人们所注重。将来太阳大规模应用重要是用来发电,当前实用太阳能发电方式重要为“光电转换”。其基本原理是运用光生伏打效应将太阳辐射能直接转换为电能,它基本装置是太阳能电池。太阳能电池是由太阳能电池硅片组件构成一种系统。硅片

2、质量直接影响了太阳电池光电转换效率。本文简介了光伏产业发呈现状及趋势,对多线切割、硅片切割机工作原理及构造进行了大概简介,详细阐述了硅片切割工艺及流程,并对切片切割操作中遇到问题及解决方案作了详尽阐述。核心词:多线切割;wafer(polycrystalline) cutting technology and flowAbstract As the shortage of energy and the pollution of environment,it is a trend use renewable and non-pollution energy nowadays,the develo

3、pment and use of solar energy is becoming more valued by people .A scale use of the sunshine is main use to generate electricity。Nowadays the main way to use solar to generate electricity is translate light to electricity . Its basic principle is use photovoltaic effect to solar radiation energy to

4、electric immediate. Its foundation appliance is solar cell. Solar cell is a system make of silicon wafers. The quality of silicon wafer influences the photoelectric conversion efficiency of solar immediate. This passage introduced the current situation and trend of Photovoltaic Industry. We have a g

5、eneral introduce of multiwire cutting ,the operating principle and the structure of silicon wafer slitter. Also it included the expound silicon wafer cutting and technological process in detail. At last,we have a detail expound of the problems and solve project while cutting silicon wafers and solve

6、 project.Keywords:multiwire cutting;目 录摘要IABSTRACTII第1章 光伏产业发呈现状及趋势11 .1国际光伏产业现状11 .2国内光伏产业现状1 1 .3 将来发展趋势及展望.1 第2章 多线切割32 .1 多线切割技术发展历史32 .2 多线切割机基本简介3 2.3 中华人民共和国太阳能硅片线切割设备国产化现状和趋势.3第3章 硅片切割机工作原理及构造53 .1 基本构造53 .2 工作原理5第4章 硅片切割工艺及流程104 .1切割工艺10 4.1.1重要参数.11 4.1.2切割液(PEG)粘度.11 4.1.3碳化硅微粉粒型及粒度.12 4.

7、1.4砂浆粘度.12 4.1.5砂浆流量.12 4.1.6钢线速度.12 4.1.7钢线张力.12 4.1.8工件进给速度.124 .2 重要操作流程10 4.2.1hctb6切片机开机准备.10 4.2.2切割准备.10 4.2.3取片.10 4.2.4安装放线轮.10 4.2.5布线网.10 4.2.6选用硅块 4.2.5装硅块、切片.10第5章 切片切割操作中遇到问题及解决方案13 5 .1 跳线产生13 5 .2 断线因素分析及解决13 5 .3 线痕产生14 5 .4 切片操作过程中注意事项17结 论22参照文献23致 谢24附 录25第1章 光伏产业发呈现状及趋势11国际光伏产业现

8、状 全球太阳能光伏产业发呈现状CSIA最新研究报告称,当前太阳能电池重要分为单晶硅电池、多晶硅电池和薄膜电池三种。单晶硅电池技术成熟,光电转换效率高,但其生产成本较高,技术规定高;多晶硅电池成本相对较低,技术成熟,但光电转换效率相对较低;而薄膜电池成本低,发光效率高,但当前其在技术稳定性和规模生产上均存在一定困难。随着技术进步,将来薄膜电池会有更好发展前景。 图1 全球太阳能电池市场产品构造(按销售量)在各国政府大力支持下,太阳能光伏产业得到了迅速发展。至,太阳能光伏电池产量年均增长率为60%。由于受到金融危机影响,前两个季度光伏电池产量增长速度有所放缓,但随着下半年市场需求复苏,全年太阳能电

9、池产量达到了10431MW,比增长42.5%。 图22全球太阳能电池产量当前太阳能光伏发电成本大概是燃煤成本1118倍,因而当前各国光伏产业发展大多依赖政府补贴,政府补贴规模决定着本国光伏产业发展规模。当前在政府补贴力度上,以德国、西班牙、法国、美国、日本等发达国家支持力度最大。,西班牙推出了优厚光伏产业补贴政策,使其国内光伏产业浮现了爆发式发展态势,一度占据了世界光伏电池产量三分之一强。德国光伏组件安装量高达3200MW,占全球总安装量50.4%。 2.2国内光伏产业现状 一、国内太阳能光伏产业基本状况1、太阳能制造大国中华人民共和国太阳能资源非常丰富,理论储量达每年17000亿吨原则煤。太

10、阳能资源开发运用潜力非常辽阔。中华人民共和国光伏发电产业于20世纪70年代起步,90年代中期进入稳步发展时期。太阳电池及组件产量逐年稳步增长。通过30近年努力,已迎来了迅速发展新阶段。在“光明工程”先导项目和“送电到乡”工程等国家项目及世界光伏市场有力拉动下,中华人民共和国光伏发电产业迅猛发展。到年终,全国光伏系统合计装机容量达到140MW,从事光伏组件生产公司近400家。而国内光伏产能初次超过德国,位居世界第一。全世界太阳能电池总产量达6850MW,国内太阳能电池总产量达1780MW,占全球总量26%。其中,国内太阳能电池龙头厂无锡尚德产量约为500MW,排名全球第三,而天威英利产出281.

11、5MW,天合光能产出约200MW。而从市场占有率来看,中华人民共和国太阳能电池厂商(涉及台湾省)市场占有率逐年提高,中华人民共和国太阳能电池厂商市场占有率由20%提高至35%,则更进一步,大幅提高至44%,持续两年成为世界第一。台湾茂迪光伏电池产量在270280MWp之间。从公司发展看,当前全国涉及太阳能生产公司已达3000多家,有500多家光伏公司和研发单位,其中多晶硅材料公司近20家,从业人员超过10万人。国内已有11家境外上市和12家国内上市光伏公司。而在光伏设备领域,国内太阳能电池设备总销售额达17.66亿元,增长迅速。其中,太阳能级硅单晶生长和加工设备销售额达12.26亿元,占太阳能

12、电池设备销售收入69.4%;太阳能电池芯片制造设备销售额为5.4亿元。2、产业呈区域式竞争格局当前,国内光伏产业通过爆炸式发展,产业规模不断扩大,已初步形成环渤海、长三角、珠三角、中部地区和西部地区五大板块。长三角以江苏为产业增长极,主打中下游光伏电池及组件生产,产业规模占全国一半;环渤海以河北为核心,主打上游材料生产加工,产业规模居第二,重要汇集区为邢台宁晋、保定和廊坊;珠三角以深圳为核心,主打下游应用产品生产;中部地区重要是江西、湖北、湖南;西部地区重要是四川、内蒙古、青海、陕西等省,重点运用、矿产等优势,主打上游多晶硅原料生产,可提供全国10%原料。总体上看,国内光伏产业正处在产业重组和

13、战略布局阶段,当前国内有28个省市都把光伏产业作为新主导产业和产业构造调节重点,面临着巨大产业整合压力。从国内光伏产业汇集格局变化趋势看,环渤海、长三角、珠三角和中西部地区已形成了各种覆盖光伏产业链制造公司集群,将来将有也许逐渐形成五大光伏产业集聚地。而在各省市当中,江苏省太阳能电池产量占全国总产量份额高达70%,成为名副其实太阳能第一大省。截止,江苏省已有无锡尚德、常州天合、南京中电等6家海外上市光伏公司,其中,5家进入世界前20强,此外尚有280多家为光伏上市公司、骨干公司进行配套特色公司,已经形成了完整光伏产业链条。二、国内太阳能光伏产业存在问题1、产业构造畸形:两头在外尽管过去几年,国

14、内太阳能光伏产业发展迅速,但是依然没有变化“两头在外”畸形产业机构。国内光伏系统安装量为40MW,占全球总安装量比例仅为0.73%。而在国内光伏系统安装量为20MW,占全球总安装量比例为0.8%。而老式光伏大国德国光伏系统安装量1500MW,占全球总安装量比例达到27.27%;欧洲另一光伏大国西班牙安装量则达到2511MW,占全球总安装量比例则高达45.65%。与国内光伏系统安装量很少相相应是,近年来国内光伏产品产量已经稳居世界头把交椅。据中投顾问最新发布-中华人民共和国太阳能电池行业投资分析及前景预测报告显示,国内光伏电池产量达1.78GW,占全球总量26%。而从市场占有率来看,中华人民共和

15、国太阳能电池厂商(涉及台湾省)市场占有率逐年提高,中华人民共和国太阳能电池厂商市场占有率由20%提高至35%,则更进一步,大幅提高至44%,持续两年成为世界第一。终端市场在外且重要其中在欧洲,已经使得国内光伏制造厂商在金融危机中遭遇到了极大地打击。与终端市场相相应是,上游多晶硅产业提纯核心技术重要掌握在国外七大厂商手中,涉及美国Hemlock,挪威REC、美国MEMC、日本Tokuyama、Mitsubishi Material和Sumitomo Titanium。她们垄断了全球多晶硅料供应,获得了太阳能产业最丰厚利润。2、暴利不再难阻多晶硅投资狂潮以来国内多晶硅项目合计投资已达440亿元,并

16、且这种趋势尚有愈演愈烈倾向。国内两大光伏龙头公司天威保变、江西赛维合计8000吨多晶硅项目正在建设。从下半年开始,多晶硅概念在国内逐渐升温,许多上市公司纷纷涉足其中。A股中投资多晶硅公司涉及南玻A、川投能源、天威保变、特变电工、江苏阳光、乐山电力、岷江水电、通威股份、航天机电、桂东电力、银星能源等十余家。虽然遭遇经济危机,但诸多公司依然逆市扩产。11月底,江苏顺大一期1500吨多晶硅项目正式投产;12月底江苏阳光一期1500吨项目、南玻A1500吨生产线分别投产;1月亚洲硅业1500吨生产线举办投产典礼;4月江苏中能13500吨产能将所有投产。此外,当前国内在建项目多晶硅项目总数逾20个,总投

17、资额逾700亿。其中,在建最大项目为南京大陆投资集团、美国PPP、SCC、西图等公司共同投资建设托克托县多晶硅项目,总投资180亿元,建设规模为年产多晶硅18000吨。而云南爱硅信科技有限公司总规划10000吨/年多晶硅项目,总投资也逾100亿元。最新开工项目则由山东晟朗能源科技有限公司4月18日投资兴建,首期投资11亿,总投资达90亿。在国内公司不断掀起多晶硅投资热潮中,国际多晶硅远期合同加权平均价格比下跌30%至107美元/公斤,现货价格则在5月已跌至60-70美元/公斤。国内多晶硅成本普遍在每公斤50美元至70美元,个别没有闭环式生产公司,成本高达每公斤100美元。这也就意味着,国内多晶

18、硅公司利润已经相称微薄,甚至浮现亏损经营状况。3、原料产地对多晶硅价格没有发言权长期以来,多晶硅产业“弱势”始终困扰着国内光伏产业,最大因素就是无法突破国际大厂技术壁垒而导致成本高企。但是国内多晶硅产业并非没有优势,这种优势就在于多晶硅上游原料冶金硅80%重要产地来自于国内。中投顾问最新发布-中华人民共和国金属硅市场投资分析及前景预测报告显示,国内是全球重要金属硅产地,中华人民共和国金属硅总产量为95-100万吨,而中华人民共和国金属硅总产量为75-80万吨。进入21世纪以来,中华人民共和国工业硅生产和出口始终保持着较快增长速度。中华人民共和国出口工业硅32.24万吨,为38.74万吨,达到4

19、7.90万吨,突破50万吨,达到54.51万吨,与基本持平,为53.61万吨。但达到61.4万吨,比增长了14.6%;上半年又比同期增长了16.3%,全年出口工业硅达到69.8万吨,比增长了13.8%。1-3月份中华人民共和国金属硅生产量在00-250000吨左右,国内消费量在35000-85000吨左右,别的所有出口。国内多晶硅产业同样拥有巨大资源优势,但不但没有把优势转化为胜势,反而完全受制于国际大厂。主线因素在于没有形成类似于铁矿石领域“三巨头”那样规模化优势,而是某些中小公司各自为战,且存在恶性竞争。4、政策拉动效应有限到当前为止,国内甚至全球光伏产业都还是明显“政策市”阶段,从国外光

20、伏产业发展经验来看,在政府出台有关财政补贴或电价上网政策后,行业基本都浮现了爆发性增长,例如德国、西班牙等。德国政府启动上网电价法,即知名EEG法案,导致德国光伏安装量激增,最初上网电价为3倍零售电价或者8倍工业电价。光伏系统在安装后内固定价格,但推迟一年,固定价格下调一定比率。德国现行太阳能补贴案是在由该国下议院正式宣读后定案。当前太阳能年度收购电价税率(Feed-in Tariffs)由此前年降幅5%,改成、降8%、降9%;地面装配系统(Ground- mounted system)从降6.5%,改成降10%。新法规已在1月1日生效。西班牙开始实行“皇家太阳能筹划”。进行了修改,该筹划提出

21、了购电补偿法,对发电量不大于100kWp(千瓦能)光伏系统,实行按0.44EUD/kWh价格(为平均电价5.75倍),有效期为25年,25年后购电价格变为平均电价4.6倍。对不不大于100kWp光伏发电系统,则采用0.23EU/kWh价格(平均电价3倍)。以上政策对于德国、西班牙光伏产业发展起到了至关重要作用。而国内在此前光伏产业政策基本上是空白一片。可再生能源中长期发展规划出台作用也是相称有限。进入之后,国内政府相继出台了“太阳能屋顶筹划”、“金太阳工程”等政策,但中投顾问能源行业首席研究员姜谦以为,姜谦指出,光伏产业要正常发展,最重要还是解决上网电价问题。也就是说,发出来电电网公司有积极性

22、去购买,终端顾客乐意去用才是最核心因素。德国、西班牙等国财政补贴正是从此处下手,才使得光伏行业浮现了爆发性增长。而国内三部门本次联合颁发“金太阳工程”,补贴重点则是集中在安装侧,并未解决上网电价这一实质性问题。仅从这一层面上看,“金太阳工程”启动光伏产业井喷时代就难言乐观。3.3将来发展趋势及展望1、国内光伏产业吸引世界目光随着着太阳能投资热潮在中华人民共和国兴起,中华人民共和国太阳能产业已经成为全球瞩目焦点。知名投资银行拉扎德资本预测,前中华人民共和国太阳能产业规模能达到1-1.5GW。前该行业规模将达到2GW,前则会达到20GW。此外,预测国内太阳能光伏行业有望吸引逾100亿美元私人投资,

23、并有助中华人民共和国将来三年成为全球重要太阳能设备市场。姜谦以为,虽然到当前为止全球太阳能产业终端市场依然集中在欧洲,但随着金融危机后各国太阳能政策转变,中华人民共和国等新兴市场有望取代西班牙、德国成为全球太阳能产业重要增长点。6月24日浙江温州大展国际贸易有限公司“牵手”沙特阿拉伯巴格山集团,巴格山将以资金入股在温州投资太阳能项目,该项目总投资5.3亿元。6月22日江苏响水县与美国新能源技术公司订立太阳能光伏产业基地项目合同书。该项目一年内建成一条生产线,年产1000吨多晶硅,三年内建成7条生产线,年产7000吨多晶硅,总投资约50亿元,六年内投资完毕光伏产业基地,将发展成“多晶硅硅锭硅片光

24、伏电池组件”完整太阳能光伏产业链。6月16日四川甘孜州政府与西班牙维拉米尔集团在西班牙正式订立合同,总投资8.2亿欧元硅产业合伙项目落户康定。姜谦指出,短短几天之内,多家国际公司纷纷选取投资光伏产业,这并非偶尔。阐明在国内政府强有力政策引导下,国内光伏产业不但让国内公司看到了机遇,并且可以毫不夸张地说,中华人民共和国太阳能光伏产业已经吸引了世界目光。姜谦同步以为,以上国际公司入主应当只是一种开端,将来应当会有更多海外资本选取涉足中华人民共和国太阳能光伏产业。这不论是对国内光伏产业来说,还是对国内整个能源产业来说,都是一种巨大机遇。虽然说国内光伏产业前景一片辽阔,但是发展历程并不会一帆风顺。一种

25、新兴产业迅速发展,前提必要是涉及产业链上中下游有关行业同步发展。而这种发展已不但仅是简朴产能获得提高,更重要是在掌握核心技术前提下国际竞争力提高。如果说先前终端市场集中在海外是国内光伏制造公司发展最大瓶颈话,那么后金融危机时代,内需市场逐渐启动状况下,国内公司却将面临因成本高企而导致产品缺少竞争力尴尬。若国内厂商不尽快在技术领域谋求突破,那么,将来受影响将不止单个公司利益,整个国内光伏产业发展或许都会受到国际巨头牵制。第二章 硅片(多线)切割机2.1多线切割技术发展历史 人类历史上线切割历史: 公元前:古埃及人用混合了水和沙绳子切割石头 公元19世纪:意大利人用缆绳切割大理石 公元20世纪代:

26、第一次有人申请了用绳切割约一英寸厚大尺寸大理石片专利 公元20世纪60年代:第一次浮现用线往复运动来切割水晶片 公元20世纪70年代:运用线往复运动来切割1-2英寸硅片 在上世纪80年代此前,人们在切割超硬材料时候普通采用涂有金刚石粉内圆切割机进行切割。然而随着半导体行业飞速发展,人们对已有生产效率难以满足,同步由于内圆切割材料损失非常大,在半导体行业成本摩尔定律作用下,人们对于减少切割成本、提高效率规定越来越高。多线切割技术因而而逐渐发展起来。2.2硅片(多线)切割机基本简介 多线切割机 多线切割是一种通过金属丝高速往复运动,把磨料带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次同步切割为

27、数百片薄片一种新型切割加工办法。数控多线切割机已逐渐取代了老式内圆切割,成为硅片切割加工重要方式。 基于高精度高速低耗切割控制核心技术研发高精度数控多线高速切割机床,可全面实现对半导体材料及各种硬脆材料高精度、高速度、低损耗切割,弥补了国内空白;成果具备多项自主知识产权,整体技术达到国际先进水平,其中切割线张力控制技术、收放线电机和主电机同步技术居于国际领先水平。 硅片是半导体和光伏领域重要生产材料。硅片多线切割技术是当前世界上比较先进硅片加工技术,它不同于老式刀锯片、砂轮片等切割方式,也不同于先进激光切割和内圆切割,它原理是通过一根高速运动钢线带动附着在钢丝上切割刃料对硅棒进行摩擦,从而达到

28、切割效果。在整个过程中,钢线通过十几种导线轮引导,在主线辊上形成一张线网,而待加工工件通过工作台下降实现工件进给。2.3中华人民共和国太阳能硅片线切割设备国产化现状和趋势 1.0多线切割设备国产化道路布满了坎坷 多线切割设备为国际3大厂统治 当前全球多线切割设备重要为瑞士HCT、Meyer Burger(梅耶博格)和日本NTC所统治。瑞士HCT、梅耶博格最早在上世纪80年代就推出了线切割机,重要为半导体行业所用。 在国内光伏行业切片领域,究竟国际上影响力最大三家设备供应商在中华人民共和国市场产能中差不多是三分天下,NTC份额稍微高一点。下图是国内线切割设备数量一种变化趋势图。其她涉及国内品牌和

29、国外进口其她小品牌。 HCT简介: HCT在1983年推出第一台线切割机后里才合计卖出了100台设备,在随后6年里又合计卖出了150台。太阳能光伏市场在启动后来,HCT针对市场需要在推出了世界上最大太阳能硅片线切割机B5。而HCT在里一年销售量就突破了100台。HCT在被美国应用材料收购。HCT在进入中华人民共和国市场,重要客户来自半导体行业涉及北京有研、济宁港湾、宁波晶元等。HCT在太阳能行业应用主流机型是B5,双工作台4个导轮满载可以一次切割硅棒长达到2米,非常适合大规模生产。国内重要顾客涉及LDK、保定英利、成都天威新能源、浙江昱辉、江阴海润等公司。针对市场新需求和变化,在推出了新机型M

30、axEdge B6,重要特点是将原有一种线网拆分为2个独立控制线网,这样有助于使用更细切割线从而提高出片率减少生产成本。但是当前该设备还处在推广阶段,工艺尚有待进一步成熟。第三章硅片切割机工作原理及构造3.1基本构造 基本构造:切割室、绕线室、砂浆缸、电机、电脑控制系统。3.2工作原理 多线切割基本原理是通过一根高速运动钢线带动附着在钢丝上切割刃料对硅棒进行摩擦,从而将硅棒等硬脆材料一次同步切割为数千片薄片一种切割加工办法。多线切割由于其更高效、更小切割损失以及更高精度优势,对于切割贵重、超硬材料有着巨大优势,近十年来已取代老式内圆切割成为硅片切割加工重要方式。第四章硅片切割工艺及流程4.1切

31、割工艺4.1.1 重要参数左上钢线张力右上钢线张力23N23N左下钢线张力右下钢线张力20N20N工作台台速马达转速300um/min1700rpm硅锭尺寸普通热机时间169.0mm8-10min砂浆缸入口温度左上回流缸温度22204.1.2切割液(PEG)粘度 切割液(PEG)粘度 由于在整个切割过程中,碳化硅微粉是悬浮在切割液上而通过钢线进行切割,因此切割液重要起悬浮和冷却作用。 1、切割液粘度是碳化硅微粉悬浮重要保证。由于不同机器开发设计系统思维不同,因而对砂浆粘度也不同,即规定切割液粘度也有不同。例如瑞士线切割机规定切割液粘度不低于55,而NTC规定22-25,安永则低至18。只有符合

32、机器规定切割原则粘度,才干在切割过程中保证碳化硅微粉均匀悬浮分布以及砂浆稳定地通过砂浆管道随钢线进入切割区。 2、由于带着砂浆钢线在切割硅料过程中,会由于摩擦发生高温,因此切割液粘度又对冷却起着重要作用。如果粘度不达标,就会导致液流动性差,不能将温度降下来而导致灼伤片或者浮现断线,因而切割液粘度又保证了整个过程温度控制。(PEG)粘度4.1.3碳化硅微粉粒型及粒度 碳化硅微粉粒型及粒度 太阳能硅片切割其实是钢线带着碳化硅微粉在切,因此微粉粒型及粒度是硅片表片光洁限度和切割能力核心。粒型规则,切出来硅片表白就会光洁度较好;粒度分布均匀,就会提高硅片切割能力。4.1.4砂浆粘度 砂浆粘度 线切割机

33、对硅片切割能力强弱,与砂浆粘度有着不可分割关系。而砂浆粘度又取决于硅片切割液粘度、硅片切割液与碳化硅微粉适配性、硅片切割液与碳化硅微粉配比比例、砂浆密度等。只有达到机器规定原则砂浆粘度(如NTC机器规定250左右)才干在切割过程中,提高切割效率,提高成品率。4.1.5砂浆流量4.1.5砂浆流量 砂浆流量 钢线在高速运动中,要完毕对硅料切割,必要由砂浆泵将砂浆从储料箱中打到喷砂咀,再由喷砂咀喷到钢线上。砂浆流量与否均匀、流量能否达到切割规定,都对切割能力和切割效率起着很核心作用。如果流量跟不上,就会浮现切割能力严重下降,导致线痕片、断线、甚至是机器报警。4.1.6钢线速度 钢线速度 由于线切割机

34、可以依照顾客规定进行单向走线和双向走线,因而两种状况下对线速规定也不同。单向走线时,钢线始终保持一种速度运营(MB和HCT可以依照切割状况在不同步间作出手动调节),这样相对来说比较容易控制。当前单向走线操作越来越少,仅限于MB和HCT机器。 双向走线时,钢线速度开始由零点沿一种方向用2-3秒时间加速到规定速度,运营一段时间后,再沿原方向慢慢减少到零点,在零点停顿0.2秒后再慢慢地反向加速到规定速度,再沿反方向慢慢减少到零点周期切割过程。在双向切割过程中,线切割机切割能力在一定范畴内随着钢线速度提高而提高,但不能低于或超过砂浆切割能力。如果低于砂浆切割能力,就会浮现线痕片甚至断线;反之,如果超过

35、砂浆切割能力,就也许导致砂浆流量跟不上,从而浮现厚薄片甚至线痕片等。4.1.7钢线张力 钢线张力 钢线张力是硅片切割工艺中相称核心要素之一。张力控制不好是产生线痕片、崩边、甚至短线重要因素。1、钢线张力过小,将会导致钢线弯曲度增大,带砂能力下降,切割能力减少。从而浮现线痕片等。2、钢线张力过大,悬浮在钢线上碳化硅微粉就会难以进入锯缝,切割效率减少,浮现线痕片等,并且断线几率很大。3、如果当切到胶条时候,有时候会由于张力使用时间过长引起偏离零点变化,浮现崩边等状况。4.1.8工件进给速度 工件进给速度 工件进给速度与钢线速度、砂浆切割能力以及工件形状在进给不同位置等关于。工件进给速度在整个切割过

36、程中,是由以上有关因素决定,也是最没有定量一种要素。但控制不好,也也许会浮现线痕片等不良效果,影响切割质量和成品率。4.2.重要操作流程4.2.1 hctb6切片机开机准备 1.将顶部“睡.气.浆料阀”打开。 2.将切片机马达室一侧电源主开关打在“on上。 3.带电脑启动画面运营到正常界面后,点击箭头所指(I/O)键。 4.点击冷却水启动键,使其呈下凹状态。 5.点击上下工作台及所有排线轮复位键。 6.依照标签插好沙浆缸插头,并连接好沙浆管道。4.2.2切割准备 1.用工具轻拍上下线网,将线网表面杂质拍除干净。 2.清洗上下过滤网上碎片,并将过滤网取出。 3.将清理出碎片放入槽中,待转预清理。

37、 4.取走过滤网后,再次检查切割室里与否有碎片,并将其清除。 5.将下过滤网放至清洗处,并用水清理干净。 6.用气将下过滤网完全吹干。 7.将清理干净下过滤网放回切割室底。 8.将砂浆喷嘴清理干净,并用压缩空气吹干。 9.将砂浆过滤桶清理干净。并用压缩空气吹干。4.2.3取片 1.将电脑屏幕下方锁键打在“by-pass”位置 2.点击主界面上锁门键,使其成凸起状。 3.打开切割室门,用灯照明,观测线网位置,看硅块与否完全切透(若未切透,应依照线网位置加切)。 4.在界面上点击硅块上升键,在弹出框中输入值,范畴在“玻璃区5mm/min”;硅片区10-30mm/min”. 5.返回主界面,点击硅块

38、上升键,工作台将缓慢上升。 6.待工作台停止上升后,依次点击“左上,右上,左下,右下”工作台气压键。依次取下“左上,右上,左下,右下”托板压紧固定块。 7.装好插杆,有两人将上下工作台硅块取出,并装好例一边插杆。小心将硅块放入预清洗架内,并在托板上标好硅块位置,用同样方式将硅块逐个取出,取出之后放入装满PEG车内,随工单一起送入预清洗。4.2.4安装放线轮 1.未开封新线轮,包装纸上箭头表达放线方向。 2.观测线轮标签,选取直径与长度均符合工艺规定钢线。 3.用放线轮专用车叉取钢线轮,并保持包装纸上方向朝下。 4.使用起重车安装好钢线 5.将新线轮推入放线轮轴承(箭头所指方向为放线方向) 6.

39、左右推动放线轮,将其推入到位。 7.推入时保证放线轮上两个卡位与放线轮轴承上两个凹槽咬合。 8.装入定位卡盘。 9.装入螺母与定位卡盘上。 10.调节扳手力矩至所需刻度,(放线轮为180N) 11.转动扳手直到听到扳手旋转到位(浮现响声)。 12.松开定位器,将收线轮转动半圈,再用定位器固定。 13.转动扳手,直到听见扳手转动听见声响,在进行两次同样转动放线轮半圈操作。 14.放线轮安装完毕将定位器打起。 15.装上防护外壳。 16.点击操作界面“高限位”在弹出框中输入值(输入值=新线总长-5km) 17.点击操作界面清零键。4.2.5布线网1.布线前,将切割室上方喷嘴取下。2.在切割室(靠绕

40、线室侧)将胶布反面导轮偏左侧引入反面缠绕在导轮上,胶布要拉紧,将胶布缠绕3-4圈。3.将右绕线室新线轮线头引入切割室。4.将线头粘在胶布上,并在线头上再粘上胶布,并保证粘接牢固。5.点击操作屏幕取消接地报警,点击操作界面无钢线模式。6.如2-4办法,在胶布缠绕住顶层胶布同步,一边再用胶布缠绕住钢线。7.确认胶布被上下两层胶布夹紧后,再将线慢走5-6圈。8.将所有张力切换成小张力模式。9.打开右侧放线张力,用手顺时针慢速转动导轮运营控制器。10.待导轮上跑上一排钢线(约5mm),再次控制导轮以适当布线速度运营。11.用刀片轻拨进线口第一根线,从d导轮第一槽开始。12.将线拨入导轮进线口第一种线槽

41、。13.同理将其他导轮进线口第二根线按入进线口第二个槽。14.将线网布到1mm左右时,停止转动。15.剪取一段强力胶压在线网左侧,用刀片把胶布将线网压紧。16.将线网以外胶布和钢线剪除。17.确认线头固定好并开始导轮慢跑,看线头与否会散开。18.关闭绕线室与切割室门。19.点击安全门锁,保证所有门为锁好状态。20.将电脑控制屏下方锁键打在“SAFE”位置。21.将右侧小张力改为大张力。22.点击操作屏迅速走钢线,并依照要切硅块长度设定跑线长度(普通为2800m)。23.将跑线速度设定为8-12m/s,点击屏幕是导轮自动跑线。24.跑线期间课打开观测窗口检查线头与否散开或线网散乱。25.待自动停止后,将电脑控制屏下方锁键打在“by-pass”位置。26.点击主界面锁门键,使其呈上凸状态。27.用尺子从导轮左端测量线网,在刻度为280mm处用小刀取出一根钢线。28.用剪刀剪断多余钢线,同步用手指压住上面钢线,避免钢线松动。29.打开收线轮导向轮盖,取出前半段线网线头,将线引向收线轮。30.将引进线头和收线轮线打好接,并将线挂上滑轮。31.打开右绕线室收线轮。32.取出后半段线网进线口钢线,将线头引向放线轮。33.将引进线头与放线轮

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