01第一章第一节扫描电子显微镜.ppt

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0101第一章第一节扫第一章第一节扫描电子显微镜描电子显微镜一、照明系统（电子光学系统）1.电子枪：提供稳定稳定的电子照明源2.聚光镜（二级、有光栏）：束斑2m3.物镜及偏转线圈：束斑几十二、成像系统成像系统成像系统三、样品台四、真空系统 RP+DPRP：机械泵，10-2-10-3DP：扩散泵（硅油），10-5 1=1mmHg五、稳压系统10-4

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