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ASM设备中几种常见马达介绍陈廷劲 2014.10.06 前言：对马达前言：对马达 的认识的认识马达的称呼：马达，电机，Motor马达的作用：运动的执行机构，把电能转化为机械能。马达的分类：？2024/5/21 周二2目录目录一）简要说明；二）步进马达；三）一般伺服马达；四）线性伺服马达；五）DC马达；六）AD8912机台马达概况。2024/5/21 周二3一一.简要说明简要说明ASM设备中常见马达分类：COB ASM主要设备：D B:AD898,AD8912,ISLinDA,COE139,IBE139;WB:Eagle60,Eagle Xtreme,LBE139,LTE139;H A:AD868,868LA2,868LA3。马达分类马达分类性能特点性能特点实实 际际 应应 用用步进马达步进马达作一般电机用Elevator YZ 马达一般伺服马达一般伺服马达精度非常高Bond Y,Epoxy Writer XY 马达线性伺服马达线性伺服马达精度相当高Workholder Index,Bond Optic Y 马达DC马达马达效率高，易控制，类似于电磁阀Expander DC,Elevator Magazine Clamp 马达2024/5/21 周二4二二.步进马达步进马达2.1 步进马达(Stepper Motor)机台上的应用:Sanyo Denki Stepping Motor是ASM设备中常用的步进马达AD8912 Stepping MotorsOutput Elevator Y，ZOutput ConveyInput Elevator Y，ZInput ConveyWafer Table ThetaTrack WidthDown SetBond AnvilDispense AnvilDispense Window ClampBond Window Clamp步进马达作一般电机用，精度一般步进马达作一般电机用，精度一般2024/5/21 周二5二二.步进马达步进马达2.2 步进马达(Stepper Motor)精度控制：作一般电机用,由Sensor或继电器控制位移若对位移精度有一定要求时,由Encoder控制不安装Encoder安装EncoderElevator Input Kicker MotorWorkholder Down Set Motor2024/5/21 周二6三三.一般伺服马达一般伺服马达3.1 一般伺服马达(Servo Motor)在设备中应用：Tamagawa Denki Servo Motor是ASM设备中常用的一般伺服马达 AD8912Bondhead Y,ZEpoxy Writer X,Y,ZEjector PinAD868 LA,LA2Bondhead X,ZPickhead X,Z一般伺服马达：1，精度非常高；2，马达自带Encoder。2024/5/21 周二7三三.一般伺服马达一般伺服马达3.2 一般伺服马达(Servo Motor)精度控制：一般伺服马达自带Encoder，与马达形成闭环系统，精度可达微米级。2024/5/21 周二8四四.线性伺服马达线性伺服马达4.1 线性伺服马达(Line Motor)在设备中的应用：线性伺服马达在ASM设备中应用广泛。DAWBHAWorkholder IndexerBond Optic YWafer Table X,YBond X,YIndexerDispense X,YBond Optic YBondhead Y2024/5/21 周二9四四.线性伺服马达线性伺服马达4.2 线性伺服马达(Line Motor)基本结构：线性伺服马达是一个组合体，由几大块组成。Renishaw Scale&Encoder滑轨滑轨LM Guide磁体磁体Magnet编码器编码器LM Encoder线圈线圈LM Coil光栅尺光栅尺Scale2024/5/21 周二10四四.线性伺服马达线性伺服马达4.3 线性伺服马达(Line Motor)精度：以下DB AD898线性伺服马达一些基本情况。2024/5/21 周二11五五.DC马达马达 5.1 Tsukasa DC马达在ASM设备中的应用很多：ElevatorDAWBAD868,LA2,LA3IBE139LBE139COE139部分传动马达IBE139部分传动马达LBE139部分传动马达Tsukasa DC 马达COE139IBE139LBE1392024/5/21 周二12五五.DC马达马达 5.2 DC马达性能特点：DC马达特点A,效率高，便于控制，在ASM Hipec系统中，与Solenoid归为一类；B,一般由Sensor或继电器控制其位移，也有的连接Encoder进行实行信息反馈。COE139中的DC马达，标注DC/SOLAD8912 DCM/SOL驱动箱线路图中，DCM与SOL归为一类2024/5/21 周二13六六.AD8912机台马达概况机台马达概况 参见AD8912马达分布报告：2024/5/21 周二142024/5/21 周二15