1、光电测试技术Opto-electronic Measurement Technology 第一章光电测试技术概述、光电测试技术的意义电子技术电子学方法微电子技术(微小尺寸)方便、快速光学技术纯光学方法光材料技术、光器件技术、光学系统技术(光信息检测系统、光信息处理、光计算、光传输、光存储与显示技术等)-快速(运动速度最快)光频段的微电子技术测量精度高、速度快、非接触、自动化程度高2、光电测试系统实例(1)红外防盗报警系统图1一1红外防盗装置框图3(2)光电计数器图1-2光电计数器框图4(3)锅炉水位光电控制控制图1一3光电控制水位框图5(4)稳定光源发光照度的自动控制系统图】一4稳定光源自控系
2、统6(5)激光外径扫描仪11半导体激光器2旋转多面体3 f(9)镜 4工件5物镜6光电器件.图1激光外径扫描仪原理图.7三、光电测试技术的特点(1)高精度(精度最高)(2)高速度(媒介-光)(3)远距离、大量程(遥测、遥控)(4)非接触测量(不损伤被测物)(5)寿命长-一复现性好、永久使用(6)智能化-一强信息处理和运算能力、并行处理;8四、光电测试技术的应用发展L辐射度量和光度量的检测光强度计、光亮度计、辐射计、以及光测高温计和辐射测温仪2.光电元器件特性的检测光谱特性、光灵敏度、亮度增益3.光学材料、元件及系统特性的检测材料、元件的光谱特性;光学系统的调制传递函数;大倍率的减光片4.非光物
3、理量的光电检测一应用最广、发展最快、最为活跃的应用领域95.光电测试技术的发展(1)新光源、新光电器件红宝石/氨-氯激光器(单色性、方向性、相干性、稳定性好)固体摄像器件(小巧、坚固、低功耗、失真小、工作电压低、重量轻、抗震性好、动态范围大、光谱范围宽)-视觉检测光导纤维(高精度、高速度、非接触、远程传输)10(2)工程领域加工精度(0.1卬1或0.01卬1水平)-纳米测量显微镜标定(纳米、亚纳米级)-一激光外差干涉仪(O.lnm)、X光干涉仪(0.Olnm)环境要求(环境温度不稳定、振动、光源波动)闭环控制(3)微电子技术计算机技术-一微系统(集成化)-一微机电系统-一 微型测量装置-一微型光、机、电测试系统(发展方向)11五、光电测试技术的典型应用(1)军事上:制导、光电伪装、光电对抗;(2)航天:空间目标探测、导航;(3)生物医学:内窥镜;(4)环保:污水处理(光化学氧化)、测定大气氮氧化物(5)工业:光电子封装(6)其他:红外光电子学、光电自准直仪、太阳能电池、太赫兹技术12