JJF 1050-1996（代替JJG 587-1989 JJG 737-1991） 工作用热传导真空计校准规范.pdf

中华人民共和国国家计量技术规范J J F 1 0 5 0-1 9 9 6工作用热传导真空计校准规范C a l i b r a t i o n S p e c i f i c a t i o n o f Wo r k i n g T h e r ma lC o n d u c t i v i t y V a c u u m G a u g e1 9 9 6 一0 1 一1 1 发布1 9 9 6 一1 0 一0 1 实施国 家 技 术 监 督 局发 布J J F 1 0 5 0-1 9 9 6工作用热传导真空计产。.。一。.口.卜.O.O.0.，.。口.口.口.户 校 准 规 范C a l i b r a t i o n S p e c i f i c a t i o n o f Wo r k i n g J J F 1 0 5 0-1 9 9 6代替 5 8 7-1 9 8 9 73 7-1 991.，.，.，.，.，.，.，.、，.，.、，.，.、T h e r ma l C o n d u c t i v i t y Va c u u m Ga u g e 本技术规范经国家技术监督局于 1 9%年 0 1 月 1 1日 批准，并自1 9 9 6年 1 0月 0 1日 起施行。归口单位:吉林省技术监督局起草单位:国营南京电子管厂 吉林省计量测试技术研究所本规范技术条文由起草单位负责解释B F 1 0 5 0-1 9 9 6本规范主要起草人:林国平 周淑荣 参加起草人:牟娟 吴跃(国营南京 电子管厂)(吉林省计量测试技术研究所)(大连市计量所)(安徽省真空计量站)J J F 1 0 5 0-1 9 9 6目录一概述 。，(1)二技术要求 .(1)三校准条件 .一(1)(一)校准用设备 ，(1)(二)校准用标准装置 (2)(三)环境条件 ，(3)(四)校准气体 ，-，。一(3)四 校准项目 和校准程序 .(3)五校准结果处理和校准时间间隔.(3)附录 校准证书背面格式 .(5)J J F 1 0 5 0-1 9 9 6工作用热传导真空计校准规范 本校准规范适用于工作用热传导真空计(以下简称被校真空计)的校准。考虑到实际作用，施行本规范时，同时废止 J J G 5 8 7-1 9 8 9和 J J G 7 3 7-1 9 9 1 两检定规程。一概述 被校真空计是根据气体分子热传导性能与压力有关的原理制成的真空测量仪器，常用的种类有电阻真空计和热偶真空计，均由规管和电路组成。(见图 1)A p V GA IB /R I C、-J D 一一 mJK/一一一II FER,N I W R,佃)热偶真空计工作原理图(b)电阻真空计工作原理图 图 1 被校真空计工作原理图-A-毫安表;m V-毫伏表;G-被校计规管;R Rz,凡一电阻;E 一直流电源;G 一规管;R S 一电位器;A 一电流表;R 一可变电阻;K 一开关;E 一直流电源;K 一开关;A O B 一加热丝;C O I 一热偶丝;D 一被测压力 0 一被测压力二技术要求压力示值相对误差:8不超过 士 5 0%.三校准条件(一)校准用设备2 数字电压表或电位差计(0-2 0 m V,0.1%)1台。3 直流电流表(0-7 5 一1 5 0 m A,0.5级)1只。4 交流电压表(0-2 5 0 V,1.0 级)1 只。5 交流稳压电源(1 k V A稳定度 士 1%)1 台。6 计时器(最小分度 1 s)1只。J,I F 1 0 5 0-1 9 9 67 温度计(0 一+5 0、分度值 0.5)1 只。8 湿度计(侧童滩确度士1 0%)1 只。(二)校准用标准装置9 真空标准装置(总不确定度不大于 1 5%)1 套。9.1 采用静态膨胀法真空标准装置时(见图2)，应能满足校准室静态压力保持 1 m i n后，不大于被校压力下限值的 1%0 图 2 静态膨胀法真空标准装置示意图 1-高真空获得装置;2,6,8,1 1，1 2-阀门;3 一校准室;4 一电离真空计5 一被校真空计;7 一定量体积;9 一压力计帕一气源室;1 3 一氮气源9.2 采用动态相对法真空标准装置时(见图 3)，应满足下列要求。图 3 相对法真空标准装置1-高真空获得装置;2,3-阀门;4 一电离真空计;5 一校准室;6 一被校真空计;7 一标准真空计;8 一微调阀门;9-氮气源9.2.1 标准真空计的示值相对误差不大于 1 0%，其测量范围应能覆盖被校计的待校范围(可以是 1台或几台组成的标准真空计组)。9.2.29.2.39.2.4校准室的本底压力不应大于被校计待校压力下限的2%a校准室的压力在校准范围内应连续可调，在 1 mi n内压力稳定度不超过 士 2%/校准室的结构应符合下述要求。)校准室的总容积应大于规管和与它连接的管道的总容积的2 0倍。.U F 1 0 5 0-1 9 9 6 b)校准室的形状为球形体或高度与内径之比为 1-3 的圆柱体。c)标准规管和被校规管的安装:对球状校准室应在球赤道位置，对圆柱体校准室应在 1/2 高度的同一水平面位置。d)为获得动平衡压力，所注人校准室的气体最少与校准室内壁碰撞一次后方能进人规管所在位置。.e)校准室上连接被校规管过渡管道的流导值，不应小于被校规管本身支管流导值的 1 0 倍。(三)环境条件1 0 环境温度为(2 3士5)I，校准过程中室温变化不超过士1。1 1 相对湿度不大于 8 01 2 标准装置附近不应有强电场，强磁场和明显的气流。(四)校准气体1 3 纯度不低于 9 9.9%的氮气。四校 准项 目和校 准程序1 4 校准前按产品技术条件的规定对被校真空计电路的电参数进行调试。巧将被校真空计接至真空标准装置上，按获得真空的操作程序对真空标准装置进行抽气，使它符合 9.1,9.2.2,9.2.3的要求。1 6 压力示值校准1 6.1 按产品说明书的规定对被校真空计进行零点、满度或加热电流校准，对热偶真空计要记录规管的加热电流示值。1 6.2 压力校准点应在被校量程内均匀分布选取。线性刻度的被校真空计，每个数量级至少有 3个校准点。对数刻度的被校真空计不得少于 1 0 个校准点，在每个数量级至少有 2 个校准点。1 6.3 压力由低至高的顺序进行校准，在每个校准点都必须待压力稳定后重复读数 3次，取其平均值，分别得到压力标准值和被校值。1 6.4 按 式 门)计算 压力示佰 误善a二(P一P)/P x 1 0 0%(1)式中:8 压力示值误差;尸 被校计指示的压力平均值，P a;P 标准压力值，P a.五校准结果处理和校准时间间隔1 7 依据校准结果判断被校真空计是否满足规范要求。J J F 1 0 5 0-1 9 9 61 8 经校准的被校真空计发给校准证书。1 8.1 校准证书应列出各校准点的压力标准值和被校真空计示值。1 8.2 列出被校真空计电源的零点、满度、加热电流，规管的外观检查情况。1 9 被校真空计的校准时间间隔初选为 1 年。送校单位可以根据对送校真空计准确度的要求，失准造成的后果以及上次校准情况，向有关单位提出缩短或延长校准时间间隔的建议。.1.I F 1 0 5 0-1 9 9 6附录校准证书背面格式 校准结果规管编号校准日期主要标 准器一、电路检查结果:二、规管检查结果:三、热偶规加热电流:四、压力示值校准:一IARV a粉 一 干一十一一一jT 一带一州五、校准条件:室温湿度%校准气体被校值/P a标准值/P a被校值/P a标准值/P a