JC∕T 2064-2011 半导体用透明石英玻璃棒.pdf

I C S8 1 0 4 0 3 0Q3 5备案号：3 4 4 0 8-2 0 12JC中华人民共和国建材行业标准J C T2 0 6 4-2 0 11半导体用透明石英玻璃棒T r a n s p a r e n tq u a r t zg l a s sr o d sf o rs e m i c o n d u c t o r2 0 1 1 1 2 2 0 发布2 0 12-0 7-0 1 实施中华人民共和国工业和信息化部发布刖罱J C，T2 0 6 4-2 0 11本标准按照G B T1 1 2 0 0 9 给出的规则起草。本标准由中国建筑材料联合会提出。本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(S A C T C4 4 7)归口。本标准负责起草单位：久智光电子材料科技有限公司。本标准参加起草单位：中国建筑材料检验认证中心、中国建筑玻璃与工业玻璃协会。本标准主要起草人：宋维宁、吴洁、王春玲、张锦。本标准为首次发布。1 范围半导体用透明石英玻璃棒J C，T2 0 6 4 _ 一2 0 11本标准规定了半导体用透明石英玻璃棒(以下简称石英玻璃棒)的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃棒。冶金、化学工业用透明石英玻璃棒也可参照本标准执行。2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。G B T3 2 8 4 石英玻璃化学成分分析方法G B f l T4 1 2 1 石英玻璃热变色性试验方法G B T1 0 7 0 1-2 0 0 8 石英玻璃热稳定性试验方法G B T1 2 4 4 2 石英玻璃中羟基含量检验方法J C T5 9 7 2 0“半导体用透明石英玻璃管3 术语和定义J C T5 9 7 界定的术语和定义适用于本文件。4 分类和标记4 1 分类按用途分为太阳能级石英玻璃棒(T 级)和电子级石英玻璃棒(p 绣)。4 2 标记产品按分类(T 或D)、产品名称、产品规格、生产批号、标准编号的顺序标记。示例：符合J C T2 0 6 4-2 0 1 l，直径为2 0 姗，长度为l0 0 0 咖，生产批号为2 0 0 9 1 2 2 1 的太阳能级透明石英玻璃棒标记为：T 一石英玻璃棒一2 0 10 0 0 2 0 0 9 1 2 2 1 一J C T2 0 6 4-2 0 1 l5 要求5 1 规格尺寸及尺寸公差5 1 1 直径及直径公差J C 仃2 0 6 4-2 0 1 f直径及直径公差应符合表l 的规定。单位为毫米53 理化性能53 1 杂质元素含量53 11T 级石英玻璃棒J C，r2 0 鲥_ 2 0 11T 级石英玻璃棒的铝、铁、钙、镁、钛、铜、钴、锰、镍、锂、钠、钾、硼十三种杂质元素的总含量应小于等于3 0 0 0 1 0“，其中：铁含量应不大于l5 0 1 0，钛含量应不大于3 0 0 1 0 一，铜含量应不大于08 0 1 0，硼含量应不大于0 2 0 X 1 0 4，锂、钠、钾总含量应不大于5 0 0 X 1 0。53 1 2D 级石英玻璃棒D 级石英玻璃棒的铝、铁、钙、镁、钛、铜、钴、锰、镍、锂、钠、钾、硼十三种杂质元素的总含量应不大于2 5 0 0 1 0 1，其中：铁含量应不大于0 8 0 1 0 一，钛含量应不大于2 0 0 X 1 0 一，铜含量应不大于0，5 0 1 0 1，硼含量应不大于0 1 0 1 0 1，锂、钠、钾总含量应不大于2 5 0 X1 0“。53 2 羟基含量应不大于2 2 0 x 1 0 1。5 3 3 热稳定性石英玻璃棒在12 0 0 C 5 下保温2 0 m i n，置于2 0 C 5 的空气中冷却，试验三次，不应出现裂纹、缺口或崩落(切、磨口处小于3m m 的断面崩落不计)。5 3 4 热变色性石英玻璃棒在12 0 0 C 5 下保温2h，在2 9 0n m 波长处热处理前、后的透射比变化平均值丁应小于等于4。5 3 5 抗析晶性石英玻璃棒在14 0 0。C 5 下保温6h，析晶层平均厚度应小于等于8 0 姗。5 试验方法6 1 规格尺寸及尺寸公差6 1 1 直径、直径公差及椭圆度用分度值不大于0 0 2m m 的游标卡尺等量具进行测量。测量石英玻璃棒两端及中部的直径，同一截面上测量点不少于3 个，取所有测量数据中的最大值减公称直径所得代数差为直径上公差，最小值减公称直径所得代数差为直径下公差。同一截面上最大值减最小值，其差值的最大值为椭圆度值。6 1 2 长度用分度值为1m m 的钢直尺或钢卷尺沿长度方向测量最短处和最长处。6 1 3 弯曲度将石英玻璃棒放在准确度不低于2 级的平台上，使两端紧贴平台转动石英玻璃棒，用分度值不大于o 0 2m m 的塞尺测量石英玻璃棒与平台之间的最大间隙，用最大间隙值再除以公称长度。6 2 外观质量将石英玻璃棒平行放于两支额定功率不低于3 6W 荧光灯下，石英玻璃棒与光源距离不超过6 0 0m m，采用黑色衬底，进行目测检验，必要时可用分度值不大于0 0 2m m 的游标卡尺等量具进行测量。3J C T2 0 6 4 t O 63 物理化学性能63 1 杂质元素含量接G B T3 2 8 4 的规定进行分析。71 检验分类产品检验分为出厂检验和型式检验。72 出厂检验72 1 检验项目包括规格尺寸及尺寸公差、外观质量。722 判定规刚每支产品均符合要求判该支产品为合格，有一项不符合要求，判该支产品为不合格。73 型式检验73 1 总则4在下列情况下进行型式检验：a)新产品投产或产品定型鉴定时：b)正常生产时，每一年进行一次；c)原材料或工艺等发生较大变化，可能影响产品质量时d)产品停产6 个月以上恢复生产时：e)国家质量监督机构提出进行质量监督抽查时。J C，T2 0 6 4-2 0 117 3 2 检验项目包括第5 章的全部要求。7，3 3 组批同种原料、相同生产工艺的5 0k g 为一批。小于5 0k g 也按一批计。7 3 4 抽样7 3 4 1 规格尺寸及尺寸公差、外观质量抽样采用i 0 0 检验。73 4 2 物理化学性能抽样从规格尺寸及尺寸公差、外观质量检验合格的石英玻璃棒中随机抽取1 支3 支进行理化性能检验。7 3 5 判定规则7 3 5 1规格尺寸及尺寸公差、外观质量判定每支产品均符合要求，判该支产品该各项指标为合格。有一项不符合要求，判该支产品为不合格。7 3 5 2 物理化学性能的判定各项理化性能均符合要求，判该批产品理化性能为合格。有一项不符合要求，判该批产品理化性能为不合格。7 3 5 3 综合判定规格尺寸及尺寸公差、外观质量及理化性能均符合要求，判该批产品为合格。有一项不符合要求，判该批产品为不合格。8 标志、包装、运输和贮存8 1 标志8 1 1 每批产品出厂时应附有产品合格证书，内容包括a)产品分类(T 或D)、产品名称；b)产品规格：C)生产批号；d)标准代号；e)检验员编号。J C，r2 0 6 4 _ 一2 0 118 1 2 包装箱上应有储运图示标志，如“玻璃制品”、“小心轻放请勿倒置”、“防潮湿”等字样或图形以及产品标记、厂名或商标。8 2 包装产品在洁净环境下先单支包装，包装应满足防护、防尘的要求，避免产品的划伤、破损及污染。单支包装后如需再集装时，包装也应满足防护、防尘的要求。产品包装随箱放入产品合格证及装箱单，装箱单应注明数量或重量、装箱日期等。8 3 运输产品装、卸、运过程中要轻拿轻放，应有防雨措施。8 4 贮存产品应贮存在无有害气体、干燥清洁的室内。注意防压损。68llllllllllIIlllllIIIl巾华人民共和国建树行业标准半导体用透明石英玻璃棒J C T2 0 6 4 2 0 l1中国建材工业出版社出版建筑材料工业技术监督研究中心(原国家建筑材瘸工业局标准化研窥所)发行新华书店北京发行所发行各地新华书店经售地矿经研院印刷厂印刷版权所有不得翻印+开本8 8 0 x 1 2 3 01 1 6 印张0 7 5 字数1 8 千字2 0 1 2 年5 月第一版2 0 1 2 年5 月第次印刷印数1-4 0 0 定价1 60 0 元书号：1 5 5 1 6 0 0 5 0编号：0 7 3 9阿址：w w w s t a n d a r d c n j c m m 电话：[phone]地址：北京朝1 j =|区管庄东坐建材大院北楼邮编：1 0 0 0 2 4本标准如现印装质量问题由发行部负责调换。