管式PECVD生产操作规程优质.ppt

单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,*,管式PECVD生产操作规程,1 安全警告,设备带有高压、易燃易爆特种有毒气体、射频辐射等危险,严禁无关人员和小孩进入机器黄色区域,机器生产运行时，严禁拆设备任何部件。,未经培训和许可严禁操作设备，不正确操作设备可能损坏设备，严禁乱操作计算机。,9/12/2026,2,硅烷是极易燃易爆气体,硅烷灭火仅通过关闭气源,硅烷燃烧生成石英砂,预防：,定期设备检查,培训合格，有特殊能力的人操作,机器安全保护,硅烷气体泄漏探测器,2 硅烷 Silane SiH4,9/12/2026,3,氨气 Ammonia NH3,腐蚀性,对眼睛、皮肤、呼吸系统伤害,高浓度致命,低浓度易燃,预防：同硅烷,另外避免吸湿和检查阀体及管路锈蚀情况,9/12/2026,4,3 安全与标识,威胁人身伤亡或健康,微波辐射危险,微波泄露限制：根据最新科学研究和世界许多国家执行规定，距易接近设备部件5cm处微波泄漏小于5mw/cm2,热的表面,9/12/2026,5,触电危险,戴防护眼镜,戴防护手套,9/12/2026,6,3 开机,开总电源,启动计算机,检查冷却水,检查气源,启动真空泵,加热,9/12/2026,7,3.1开总电源开关：,UPS不间断电源-控制电源,市电-加热、驱动、真空泵,9/12/2026,8,3.2启动计算机-开电源后自动启动，输入密码。,9/12/2026,9,3.4 检查冷却水,冷却水压力应在4kg/cm2-6kg/cm2范围内,先打开冷却水出水阀，然后打开进水阀,9/12/2026,10,3.4 检查气源,打开压缩空气阀，压缩空气为 5kg/cm2-7 kg/cm2,打开氮气阀，氮气压力为3kg/cm2,打开CF4和O2阀，压力为3kg/cm2,打开SiH4和NH3阀，压力为3kg/cm2（警告：开特气需培训合格者，确保特气管路中无O2或压缩空气),9/12/2026,11,3.5 启动真空泵,开冷却水，压力最大4kg/cm2,开N2，压力应在1KG/CM2,启动真空泵,如果是冷泵，手动关闭蝶阀，真空泵预热,9/12/2026,12,在CESAR界面，,manal/T-paddle/All/setpoint=450,3.6加热：,9/12/2026,13,4 选择工艺单、生产,9/12/2026,14,5 关机,5.1检查所有管工艺运行结束，降温,5.2关墙壁气箱中特气阀,特气管路吹扫,5.3关掉真空泵,5.4退出控制程序,关主电源,5.5关上压缩空气、氮气、冷却水,说明：短时间不用不需关设备，维护和放假才可能关闭设备。平凡关闭设备易引起故障。,9/12/2026,15,5.1 工艺运行结束后降温,在CESAR界面，,manal/T-paddle/All/setpoint=25,为了加快降温速度可向管灌N2到大气压,Manal/gas/N2NO/valve/open(开气),Manal/gas/N2NO/valve/close(关气),9/12/2026,16,5.2 关墙壁气箱中特气阀，特气管路吹扫,关上位于墙壁气箱中特气阀,通知经过培训的设备人员进行特气管路吹扫,9/12/2026,17,5.3 关真空泵,运行停泵工艺PUMPOFF.PRZ,等电脑提示停泵,等泵冷却后关闭N2和冷却水,9/12/2026,18,5.4 退出控制程序，关主电源,密码登陆关闭控制软件CMI，计算机显示回到windows画面,进行正常关计算机操作,相邻两条线四台PECVD全关闭计算机后，关闭主电源,9/12/2026,19,5.5 关上压缩空气、氮气、冷却水,关上压缩空气、氮气阀,等机器冷却后可关闭冷却水，先关进水阀，然后关回水阀,9/12/2026,20,PECVD生产操作规程,完,9/12/2026,21,