气路系统原理图(确定版本).ppt

单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,气路系统命名,朱丽,大会议室,20100125,5/24/2026,1,命名规则,Gas Box,什么阀,第几路 第几个阀,字母,数字,数字,8,路分别为：,1,，,2,，,3,，,4,，,5,，,6,，,7,，,8,5/24/2026,2,中文名称,英文名称,简写,手动阀,Manual Shutoff,Vavle,MV,减压阀,Regulator Pressure,Vavle,RV,压力传感器,Pressure Transducer,PT,过滤器,Fliter,F,气动阀,Air-operated Valve,AV,MFC,Mass Flow Controller,MFC,单向阀,Check,Vavle,CV,5/24/2026,3,5/24/2026,4,N2,30SLM,预留,预留,P,P,P,P,P,P,P,SiH4,2SLM,NF3,5SLM,Ar,15SLM,NH3,2SLM,N2O,2SLM,He,15SLM,N2,2SLM,P,预留,A,B,C,互锁,互锁,Gas Box,系统原理,手动阀 单向阀 调压阀 压力表 过滤器 气动阀,MFC,P,第三版,MV1,RV1,P1,F1,AV11,AV12,MFC1,PV1,MV2,MV3,MV5,MV4,MV6,MV7,MV8,RV2,RV3,RV4,RV5,RV6,RV7,RV8,PT2,P3,P4,P5,P6,P7,P8,F2,F6,F7,F8,F3,F4,F5,MFC2,MFC3,MFC4,MFC5,MFC6,MFC7,MFC8,AV21,AV22,AV51,AV61,AV71,AV81,AV31,AV41,AV32,AV42,AV52,AV62,AV72,AV82,PV3,PV6,5/24/2026,4,中文名称,英文名称,简写,蝶阀,Throottle,Vavle,TV,截止阀,Gate,Vavle,GV,角阀,Angle,Vavle,AngV,真空计,Vacumm,Gauge,PG,5/24/2026,5,PUMP,cleanroom,Gas Box,A,B,C,ABV,BBV,CBV,互锁,互锁,foreline,TV,GV,PUMP,N,2,回填,真空计,节流阀,截止阀,气动阀,角阀,压电控制阀,过滤器,MFC,RC,RPS,BFV,Loadlock,L,LV,LLBV,RCBV,LLAV,LLMFC,F,第二版,命名规则：,位置,用途,什么阀,PG,RCAV,AFV,CFV,5/24/2026,6,