多晶硅片外观检验.ppt

单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,多晶硅片外观检验方法培训,FQC:赵瑞冉,1,多晶硅片外观主要缺陷,项目,内容,易检方位,晶体,微晶、雪花晶、分布晶,硅片正面,完整度,废片、缺角、缺口、裂纹、,侧面,表面,线痕、崩边、污片、穿孔、凹坑、色差,硅片正面、侧面,2,1.,穿上工作服，按规定戴上手套、口罩、头罩。,按规范穿戴,戴两层手套,3,2.,翻转片盒，垂直提起片盒，取出硅片,。,翻转片盒,取出硅片,4,3.,检查四边，挑选：缺口、缺角、碎片、废片、崩边、裂纹。,检查四边,挑出不良品,5,4.,将硅片展开：整体检查硅片边缘的线痕、崩边、污片情况。,展 开,污 片,6,5.,扇形打开，逐片检验硅片正反面：微晶、雪花晶、分布晶线痕、污片、凹坑、崩边、裂纹、穿孔、色差、废片,(,注意：此环节一定要每一片从上而下，自左而右认真检验，,25PCS,一面检验完毕，再打开检验另一面,）,微 晶,展开，逐片检验,7,6.,左手执片，右手撮动硅片数数，,25PCS1,个单位，数好放置于备有太阳能级垫片纸的洁净泡沫盒内。,数 数,25PCS,放置,8,7.,检验合格后,4,个,25,片，放一打，再整体检验四边，有无崩边、缺口等，数量补齐放置盒中。,复检四边,挑 出 崩 边,100PCS,9,8.,套上塑料袋、加上白卡和外袋,套上内层,PVC,袋,放入装有白卡的外袋,10,9.300PCS,归入一个泡沫盒，并称重确认数量,10.,确认好的硅片送至包装区包装,.,300PCS,称重、计数,11,小 结,结合实际操作,个人总结出多晶硅片外观检验的动作要点为,:,1,提,2,取，,3,看四边,4,查边缘；,5,检表面分正反；,6,数二五（,25pcs),归入盒；,7,要四个二五,(25pcs),并成百,(100pcs),；,8,（把）好关口再复检,(,四边）；,套好袋子再加袄,(,白卡加塑料袋）；,最后称重并计数（核对数据）。,12,谢谢大家！,13,