特气控制系统.ppt

,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,特气系统控制,2005,年,9,月,20,日,特气系统控制,特气系统控制,气柜,VMB/VMP,PLC,盘面,电磁阀,气动阀,GAS,CYLINDER,SENSORS,易燃易爆：,SIH4/H4/B2H6/,ASH3/PH3,无毒：,AR/HE/CF4/N2O/,C2F6/SF6/O2-HE,有毒：,CL2/HBR/NH3/,NF3/SIH2CL2/BCL3,设备,LAM,易燃易爆：,SIH4/H4/B2H6/,ASH3/PH3,有毒：,CL2/HBR/NH3/,NF3/SIH2CL2/BCL3,无毒：,AR/HE/CF4/N2O/,C2F6/SF6/O2-HE,AMEM,TCPM,AMS101,MRC,CVD,APWJ,DFUR,EPSL,IMP,气柜,组成,:,1.,电控,2.COMPUTER,3.GAS PANEL,1.,电气控制,STATUS LEDS LOCAL SD,RED,YELLOY,GREEN SWITCH,电磁阀,SENSORS,2.,COMPUTER,koyo,philips,3.,盘面,(,一,),双,盘,面 单盘面示意图,(,二,)GAS FLOW SCHEMATIC-DUAL GSM WITH PURGE GAS MANIFOLD,一,.Semi-Gas,全自动气柜更换钢瓶操作步骤,:,如果是液态类气体需要输入“净重”确认。,1,接通,220V,电源，打开“,EMO”,紧急开关，进入盘面画面。,2,输入,password,，按确认。,3 L,盘面进入“,In shutdown”,按“,commands”,菜单。,4,选择“,terminate purge”,按“,Yes”,。,5,选择“,select purge”,按“,Cylinder change”,，按“,Yes”,，按“,ACK”,确认，进入更换钢瓶的过程。,6 L-Cylinder shutoff test,，执行,process Gas removal,置换。,7,更换钢瓶前,Pre-purge,前吹扫，执行完循环次数。,8 Cylinder change,更换钢瓶，按“,ACK”,确认。,9 Process Gas removal,执行工艺气体置换。,10 Auto leak test,自动检漏测试,11 Manual leak test,手动检漏测试，按“,ACK”,确认。,12 Leak Repair,泄漏维护，按“,ACK”,确认。,13 Repair Leak test,维护后泄漏测试，按“,ACK”,确认。,14,更换钢瓶后,Post-purge,后吹扫，执行完循环次数。,15 Regulator,调压阀,shutoff,及测试。,16,缓慢完全打开钢瓶手动阀，回,1/4,圈，进入钢瓶压力测试。,17,缓慢调节,Regulator,调压阀的二次压力至供气压力。,18,按“,service ready”,进入钢瓶供气或备用。,4,.,更换钢瓶操作（依照,L,钢瓶为例）,1,选择需要更换的钢瓶，按“更换钢瓶”后按“确认”。,2,关闭更换钢瓶的钢瓶手动阀，按“下一步”。,3,确认钢瓶手动阀已经关闭，按“确认”。,4,进行低压释放。,5,进行预吹扫，完成设置的循环次数。,6,钢瓶检测结束报警，按“,close”,，按“下一步”。,7,更换钢瓶，结束后按“下一步”。,8,进行钢瓶,Fitting,测漏，正常后按“确认”。,9,进行后吹扫，完成循环次数。,10,钢瓶检测结束，按“,close”,。,11,如果是液态类气体需要输入皮重和切换压力“净重”确认。,12,缓慢完全打开钢瓶手动阀，回,1/4,圈。,13,选择供气或备用。,14,缓慢调节,Regulator,调压阀的二次压力至供气压力。,二,.,半自动气柜和全自动气柜更换钢瓶操作步骤：,三,.,手动气柜更换钢瓶操作步骤,：,要求,PN2,钢瓶的出口压力,80+/-10PSI,。,1,关闭钢瓶手动阀。,2,打开低压放空的左抽空开关（,V3L,、,V4L,、,V7L,），使之管道内气体完全放空，然后关闭此阀，同时关闭,Regulator,。,3,更换钢瓶前的,Pre-purge,：打开钢瓶,PN2,管路左吹扫开关进行,Pigtail,吹扫,5,秒后关闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对,Pigtail,管道部分进行抽真空,3,秒后关闭；再次,PN2,进行,Pigtail,管路吹扫以及抽真空，循环往复执行,10,次。,4,执行更换钢瓶的过程。,5,更换钢瓶后的,Pigtail Fitting,检漏：打开钢瓶,PN2,管路左吹扫开关，然后再关闭，进行,Pigtail Fitting,的,check leak,。检漏通过后进行,Pigtail,后吹扫。,6,更换钢瓶后的,Post-purge,：打开钢瓶,PN2,管路左吹扫开关进行,Pigtail,吹扫,5,秒后关闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对,Pigtail,管道部分进行抽真空,3,秒后关闭；再次,PN2,进行,Pigtail,管路吹扫以及抽真空，循环往复执行,10,次。,7,关闭,L,盘面上所有气动阀件，打开,L,钢瓶手动阀，调节,Regulator,的压力使之满足工艺设备的供气压力。如果是液态类气体需要输入切换压力“毛重”确认。,8,缓慢完全打开钢瓶手动阀，回,1/4,圈。,9,缓慢调节,Regulator,调压阀的二次压力至供气压力。,10,按“供气开关”或“备用开关”。,5.,气柜操作流程图,SCREEN,MENU,SCREEN,INPUT,PASSWORD,OPERATION,SCREEN,A PANEL,Or,B PANEL,SELECT GO TO,A or B PANEL,NO,AUTO PURGE,(PREPURGE),FINISH,CHANGE NEW,CYLINDER,THEN PRESS,ACK.BUTTON,NO,POST,PURGE,FINISH,PROCESS,(INSTALL ESV),YSE,YSE,CONFIRM,LOAD CELL,(NEW or OLD,OPEN,CYLINDER,LOW DELIVERY,PRESSURE&HIGH,DELIVERY,PRESSURE,(DO YOU WANGT TO,PROCESS OR,STANDBY?,SELECT,PROCESS,or,STANDBY,PROCESS,PROCESS,STANDBY,STANDBY,6,.,钢瓶更换分解图示,前吹扫：,）放空（图一）,开,）通,关,开,）抽真空,开,图一,后吹扫：,1)Pigtail,Fitting,检漏,）通吹扫,关,开,）抽真空,开,）保压,VMB/VMP,Valve Manifold Box Valve Manifold Panel,THANK S！,