曝光,蚀刻.ppt

,*,曝光,E/T,设计标准书,-,概,要,-,1.,标准教育,传阅日志,2.,修改履历,3.,设计标准内容,作成部署,:,生产技术,区分,姓名,署名,姓名,署名,姓名,署名,姓名,署名,姓名,署名,标,准,传,阅,标,准,教,育,教育对象,教育时间,教育场所,教育人员,教育担当,标准管理,标准管理部署,区,分,管理号,管理负责者,保管场所,标准教育,，,传阅,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,1,第,.,改正番号,第,.,改正日期,作 成,署名,/,年月日,检 讨,署名,/,年月日,承 认,署名,/,年月日,0,2007.12.28,1,2008.02.19,协议部署,生产,生产技术,品质保证,开发科,姓名,王建祝,胡工卫,李殿锋,署名,批准日,改 正 履 历,改正 番号,改正日期,第,.,改正内容,改正,PAGE,起案着,起案部署,0,1,2007.12.28,2008.02.19,曝光,E/T,工程,-,设计标准制定,添加,CPK,计算时数据选取标准,25,冯建德,冯建德,生产技术,生产技术,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,2008.02.19,改正番号,1,Page,2,设计标准内容,番号,标准内容,PAGE,设定日,1,单面,P/T,别保证值,4,2007.12.28,2,两面,MULTI,外层,P/T,别保证值,5,2007.12.28,3,两面内层,LDI,两面,P/T,别保证值,6,2007.12.28,4,LDI MULTI,外层,P/T,别保证值,7,2007.12.28,5,P/T,保证直检点资料,8,1,9,2007.12.28,6,两面手动曝光机,20,2007.12.28,7,Fine P/T,保证标准,2,1,2,2,2007.12.28,8,产品的,PAD SIZE,及资材,SIZE,23,2007.12.28,9,PIC,运用关联标准,24,2007.12.28,10,样本选取标准,25,200,8.02.22,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,1,Page,3,设计标准内容,:,单面,P/T,别保证值,番号,标准内容,备注,1,单面,D/F,种类,铜箔厚度,(),P/T,保证值,30 (KS-7830),1oz(,金镀金,),100/100,130/70,90/90,120/60,80/80,110/50,1oz,100/100,120/80,90/90,110/70,80/80,100/60,70/70,90/50,1/2oz,(,金镀金,),100/100,120/80,90/90,110/70,80/80,100/60,70/70,90/50,1/2oz,100/100,110/90,90/90,100/80,80/80,90/70,70/70,80/60,25 (H-9625),1/2oz,60/60,70/50,1/3oz,70/70,75/65,60/60,65/55,50/50,55/45,20 (H-Y920),1/3oz,40/40,45/35,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,4,设计标准内容,:,两面,MULTI,外层,P/T,别保证值,番号,标准内容,备注,2,两面,MULTI,外层,D/F,种类,铜箔厚度,(),P/T,保证值,30,(KS-7830),1/2oz+12,100/100,130/70,90/90,120/60,80/80,110/50,25 (H-9625),1/2oz+12,75/75,105/45,1/3oz+8,70/70,100/40,60/60,90/30,20 (H-Y920),1/3oz+8,70/70,100/40,60/60,90/30,50/50,70/30,1/3oz(H/E)+8,40/40,50/30,D/F,种类,铜箔厚度,(),P/T,保证值,30 (KS-7830),1/2oz+15,100/100,130/70,90/90,120/60,80/80,110/50,25 (H-9625),1/3oz+15 or1/3oz(H/E)+15,(,只,3L,可以,),70/70,100/40,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,5,设计标准内容,:,两面内层,LDI,两面,P/T,别保证值,番号,标准内容,备注,3,两面内层,D/F,种类,铜箔厚度,(),P/T,保证值,30 (KS-7830),1/2oz,1/3oz,100/100,120/80,90/90,110/70,80/80,100/60,70/70,90/50,20 (H-Y920),1/2oz,1/3oz,60/60,80/40,50/50,70/30,40/40,50/30,LDI,两面,LDI Sheet,专用,L.D.I,专用,D/F,种类,铜箔厚度,(),P/T,保证值,38 (SL-1238),1/2oz+12,100/100,130/70,90/90,120/60,80/80,110/50,20um(RD-1020),1/3oz(H/E)+8,70/70,90/50,40/40,50/30,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,6,设计标准内容,:,LDI MULTI,外层,P/T,别保证值,番号,标准内容,备注,4,LDI MULTI,外层,LDI Sheet,专用,L.D.I,专用,D/F,种类,铜箔厚度,(),P/T,保证值,20 (SL-1229),1/3oz+15 or1/3oz(H/E)+15,100/100,130/70,90/90,120/60,60/60,80/40,根据,E/T,完了,P/T,宽,20%,完成品,P/T,宽,30%,基准或者业体,Spec,保证可以变更,.,P/T,保证的基准 是 最小,Space.,D/F,种类,30,(KS-7830),25,(H-9625),20,(H-Y920),Space,50,35,30,D/F,别最小,Space,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,7,设计标准内容,:P/T,保证值点检资料,番号,标准内容,备注,3,TEST,目的,E/T,Pattern,保证值变化,P/T,宽的变化确认,TEST,条件,:,喷头压力同一,(,前,/,后,=2.2kg/2.2kg/),/,单面显象,E/T2,号机,3*4*2*3*2=144,种,P/T,宽测定,条件别指定部位,TD/MD,各,45,个检测,单面,P/T,宽,TEST,资材,P/T,宽,D/F,COATING,条件,曝光田间,显象条件,E/T,条件,1/2oz,50,40,30,25,20,15,110 60psi,2.0m/min,Si,平行光,35mJ,100mJ,5.0M/min,3.7M/min,1=ON 2=ON,1/3oz,3.7M/min,1=OFF 2=ON,1/4oz,5.5M/min,1=OFF 2=ON,1,3,5,11,13,15,21,23,25,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,8,设计标准内容,:P/T,保证值点检资料,番号,标准内容,备注,3,A:50/50,40/40,30/30,25/25,B:50/50,40/40,30/30,25/25,测定方法,-TD/MD,各,P/T,保证别测量,45,个,(,测定部位别各,5,个,9,处,),-,下属测量,P/T,测量,P/T,(TD/MD),-1/2oz:50/50,40/40,30/30,25/25,-1/3oz:50/50,40/40,30/30,25/25,-1/4oz:50/50,40/40,30/30,25/25,测定部位,1,3,5,11,13,15,21,23,25,TD:A-1,B-1(,进行方向和水直,),MD:A-2,B-2(,进行方向和水直,),单面曝光,TEST P/T,测定,B-2,A-2,B-1,A-1,c,1,3,5,11,13,15,21,23,25,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,9,设计标准内容,:P/T,保证值点检资料,番号,标准内容,备注,3,TEST,结果,-,单面基准,-25,以下,P/T,未,E/T,发生,:,量产不允许,-TD/MD,方向的,P/T,宽差异,:,平均,2.0,可以忽略不计,-,铜厚度及,D/F,厚度别,P/T,FILM,保证值,:,参照保证表,1/4oz,以下底片没有保证,(,等间距,),共同条件,下属,P/T,测定,/,E/T,压力同一,(2.2kg/),/,单面显象,2,号机,E/T 2,号机,/,单面平行光曝光机,Cu,厚度偏差,3,以内,/spec:,设计值,20%,D/F,厚度别最小,space,确保,*,上,.,下,线路宽度偏差,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,10,设计标准内容,:P/T,保证值点检资料,番号,标准内容,备注,3,P/T,宽保证,:,单面,共同事项,:,平行光曝光机使用,spec:,设计值,20%,Cu,厚度偏差,3,以内,65,以下,FILM NEMASK,不进行,COATING,P/T,宽以下基准,MD,方向,P/T,基准,E/T,喷头压力,:,2.2kg,最小确保,space-D/F,厚度,:space=30:65/20:35/15:30,Cu,厚度,35,18,12,D/F,厚度,30,30,20,30,20,100/100,120/80,110/90,110/90,105/95,105/95,95/95,115/75,105/85,105/85,100/90,100/90,90/90,110/70,100/80,100/80,95/85,95/85,85/85,-,95/75,95/75,90/80,90/80,80/80,-,90/70,90/70,85/75,85/75,75/75,-,-,85/65,80/70,80/70,70/70,-,-,80/60,75/65,75/65,65/65,-,-,75/55,-,70/60,60/60,-,-,70/50,-,65/55,55/55,-,-,65/45,-,60/50,50/50,-,-,-,-,55/45,45/45,-,-,-,-,50/40,40/40,-,-,-,-,45/35,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,11,设计标准内容,:P/T,保证值点检资料,番号,标准内容,备注,3,P/T,宽保证值,:,两面,共同事项,:,平行光曝光机使用,spec:,设计值,20%,Cu,厚度偏差,3,以内,喷头压力,:2.4kg,P/T,宽上部基准,MD,方向,P/T,基准,/,E/T,最小确保,space-D/F,厚度,:space,=30:65 /20:35,Cu,厚度,35,18,12,D/F,厚度,30,30,20,20,100/100,125/75,115/85,115/85,110/90,95/95,120/70,110/80,110/80,105/85,90/90,115/65,105/75,105/75,100/80,85/85,-,100/70,100/70,95/75,80/80,-,95/65,95/65,90/70,75/75,-,-,90/60,85/65,70/70,-,-,85/55,80/60,65/65,-,-,80/50,75/55,60/60,-,-,75/45,70/50,55/55,-,-,70/40,65/45,50/50,-,-,65/35,60/40,45/45,-,-,-,55/35,40/40,-,-,-,50/30,35/35,-,-,-,-,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,12,设计标准内容,:P/T,保证值点检资料,番号,标准内容,备注,3,TEST,结果,1/3oz,20,70/30,Spec:50,20%,1/3oz,D/F 20,50/50,Descriptive Statistics:50,Variable N N*Mean SE Mean,StDev,Minimum Q1 Median Q3 Maximum,50 90 0 0.047311 0.000282 0.002676 0.042000 0.045000 0.048000 0.049000 0.055000,铜箔,:1/3oz,D/F:20,P/T:50/50,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,13,设计标准内容,:P/T,保证值点检资料,番号,标准内容,备注,3,1/3oz,20,50/30,Spec:40,20%,1/3oz,D/F 20,40/40,Descriptive Statistics:40,Variable N N*Mean SE Mean,StDev,Minimum Q1 Median Q3 Maximum,40 90 0 0.039867 0.000354 0.003359 0.032000 0.038000 0.040000 0.042000 0.050000,铜箔,:1/3oz,D/F:20,P/T:40/40,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,14,设计标准内容,:P/T,保证值点检资料,番号,标准内容,备注,3,1/2oz,D/F 20,50/50,Descriptive Statistics:50,Variable N N*Mean SE Mean,StDev,Minimum Q1 Median Q3 Maximum,50 90 0 0.042067 0.000390 0.003702 0.035000 0.039750 0.041000 0.044000 0.051000,1/2oz,20,70/30,Spec:50,20%,CCL,:1/2oz,D/F:20,P/T:50/50,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,15,设计标准内容,:P/T,保证值点检资料,番号,标准内容,备注,3,1/2oz,D/F 20,40/40,Descriptive Statistics:40,Variable N N*Mean SE Mean,StDev,Minimum Q1 Median Q3 Maximum,40 90 0 0.035056 0.000442 0.004190 0.028000 0.032000 0.034000 0.037000 0.046000,1/2oz,20,50/30,Spec:40,20%,CCL,:1/2oz,D/F:20,P/T:40/40,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,16,设计标准内容,:,P/T,保证值点件资料,-120/80,130/70,番号,标准内容,备注,3,目的,:100/100 P/T,保证时,Pattern,再显象,.,中心值有无移动点检,TEST,条件,(,两面,E/T2,号机,),结果,MODEL,显象,E/T,剥离,2714A,4.6m/s,2.4m/s,2.3m/s,中心值移动,CPK:1.63,Factor:4.2,CPK:2.87,Facto,r,:4.8,120/80,130/70,两面,70/70,适用,130/70,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,17,设计标准内容,:P/T,保证值点检资料,两面,70/70,番号,标准内容,备注,3,目的,:70/70 P/T,保证时,Pattern,再显象,.,中心值有无移动点检,TEST,条件,(,两面,E/T2,号机,),结果,1)D/F THICKNESS:20um,2)D/F,COATING:,压榨机,COATING,机使用,3),社内铜镀金,(Sheet type),70/70 90/50,CPK:1.62,Factot,:3.75,两面,70/70,适用,90/50,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,18,设计标准内容,:P/T,保证值点检资料,番号,标准内容,备注,3,目的,:40/40 P/T,保证时,Pattern,再显象,.,中心值有无移动点检,TEST,条件,(,两面,E/T2,号机,),结果,Cp 4.07,Cpk,2.44,PP 1.68,Cp 5.43,Cpk,4.75,PP 1.67,45/35,No.,铜镀金,COATING,曝光,E/T,1,水平铜,(8),M.C.K,(,两段,COATING),Toray R.T.R,E/T,添加剂,2,3,备注,偏差,:,2,D/F:15,Glass Mask,NEC-4320,50/30,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,19,设计标准内容,:,两面手动曝光机,番号,标准内容,3,1.,手动,JIG,眼半径,10 mm,以内停止插入产品,.,2.,镀金金手指部位停止,.,3,3,15 25,10,15,13,2,JIG HOLE,15,13,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,20,设计标准内容,:Fine P/T,保证标准,番号,标准内容,备注,3,目的,-40,50 P/T,Cpk,向上及,P/T,不良率减小,适用,-,1/3oz,铜箔,H/E,+8,铜镀金,-1/4oz,铜箔,+8,铜镀金,*,只在以上铜箔适用保证标准,.,P/T,保证标准,平均,P/T,指的是,40/40,50/50,的,Line/Space,均一,(,同等,),分布,.,-Space,最小作成,30,(50/30,70/30),不均一,P/T,Line 40,50,情况时是指,Space,不均一的情况,.,-,最小维持在,Space 30,范围内，左右两边各,15,设为保证,.,-Line 40,时情况最少设为,70,保证,50,情况时设为,80,保证,.,ex),40,/46/,40,/52/,40,/50/,40,/60/,40,保证值,48(8),/30/,59(8+11),/30/,61(11+10),/30/,65(10+15),/30/,55(15),*,括号内的数字是设为,Space30,剩余数字左右分布,.,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,21,设计标准内容,:,Fine P/T,保证标准,番号,标准内容,备注,3,Line,左右,Space,宽的情况及独立,P/T,-Line,左右,Space 60,以上的情况,Line,左右偏侧最少增加到,15,-,Line 40,情况时保证后打到,70,Line 50,情况时保证后达到,80,应注意的,P/T,-,平均给,P/T,保证时曲线部位,Space,出现宽的现象,.,-cam,作业测量后达到,30,以上时曲线部位,P/T,保证最少增加,5.,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,22,设计标准内容,:,产品的,PAD SIZE,及资材,SIZE,番号,标准内容,备注,3,HOLE,大小,0.05,产品的可能,S,适用,PAD SIZE,及资材,SIZE,.,原资材,:MB12-20-12REM(H/E:126),PAD MARGIN,O.K,N.G,0.05,检查基准,50,100,150,200,250,300,350,390,100,7,14,2,90,1,8,8,1,80,2,11,6,70,1,8,10,3,1,60,11,7,3,50,3,说明,绿色标志的适用可能,红色可以适用,但预想发生偏差,(,例,;,资材,SIZE,50mm,情况的,PAD MARGIN,50,以上适用可能,),资材,SIZE,(MD,长,),PADMARGIN,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,23,设计标准内容,:PIC,运用关联标准,番号,标准内容,备注,3,1.PIC,适用制品,:,Coverlay,PSR type,制品,2.PIC Film,HITACHI FR-5638(38),允许适用,HITACHI FR-5625(25),提前与生,技商议,焊接耐热性时,PIC,气泡发生,.,PIC 25,使用时可能产生气泡,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,改正番号,0,Page,24,设计标准内容,:,样本选取标准,番号,标准内容,备注,3,例：,一、,不同线宽标准在计算,CPK,时，样本的选取按以下标准：,1.,单面产品，每排选取三种方向线路,测试，每个方向取,30,个点：,样本数,3*30,90,2.,双面产品，,TOP,面与,BOT,面分别在三个线的方向上测量，,每个方向上测,15,个数值：,样本数,2*3*15,90,二、量产品测量,CPK,时，样本数以,30,以上为最佳，不可低于,30,个,数据。,SIF,设计标准书,文件番号,WS,I,DS-G0001,制成日期,2007.12.28,工程名：曝光,E/T,改正日期,2008.02.22,改正番号,1,Page,25,