用光干涉极值法动态测定膜厚.pptx

专题：用光干涉极值法动态测定膜厚一、引言：一、引言：薄膜光学是物理学领域近期发展出来的一个分支，它主要研究光在分层介质中的传播规律，如介质的折射率、反射、吸收及色散变化的规律等。对于厚度小于10nm的膜，其光学特性（如折射率和吸收系数）与膜厚有显著的关系。在各种不同的应用中，对薄膜厚度的要求是十分严格的，所以不论何种形式的镀膜设备都需对膜厚进行监测。抢答抢答当两束光满足什么条件时能够发生稳定干涉？思考与讨论：（1）图中反射光的光程差是多少？ab1n2n1neCBASLPDirireE（2）透射光的光程差又是多少？分组分组讨论讨论2 2分钟分钟分组分组讨论讨论3 3分钟分钟这两束透射的相干光的光程差是：=22 21 ab1n2n1neCBASLPDirireE干涉条件可写为：干涉条件可写为：=22ecosr=（1）=2=（2）（3）思考与讨论：光强每经过一个周期的变化，膜层的厚度增加多少？分组分组讨论讨论2 2分钟分钟这种方法的优点是可实现镀膜过程中，膜厚的动态控制。应用：可用于制作增透膜、增反膜的膜厚控制等。